特許
J-GLOBAL ID：201003006384115661
真空処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 学
, 戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-067234
公開番号（公開出願番号）：特開2010-093227
出願日： 2009年03月19日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：
【課題】生産性を向上させた真空処理装置を提供する。【解決手段】減圧された内部のプラズマを用いて試料が処理される複数の真空処理容器と、真空処理容器がその周囲に連結されその内部が減圧されて前記試料が搬送される搬送室と、該搬送室と連通され真空側と大気側とで前記試料がやりとりされる複数のロック室と、前記搬送室内に配置され前記ロック室と前記複数の真空処理容器内の処理室との間で前記試料を搬送する真空搬送手段と、前記ロック室の大気側で内部に大気圧下で前記試料を搬送する空間を有した大気搬送容器と、該大気搬送容器内の空間に配置されカセットから前記試料を搬送する大気搬送手段と、複数の前記試料を定められた滞留時間を含み前記カセットから搬出し前記処理室で処理された後該カセットに戻すまでの複数の動作の予定情報に基づいて前記動作を調節する制御装置とを備えた真空処理装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
減圧された処理室内側に配置された試料がこの処理室内に形成されたプラズマを用いて処理される複数の真空処理容器と、これら真空処理容器がその周囲に連結されその内部に減圧されて前記試料が搬送される搬送室を有する真空搬送ユニットと、この真空搬送ユニットと連結され前記試料がその内部に配置された状態でこの内部を大気圧及び減圧された圧力に調節可能であって真空側と大気側とで前記試料がやりとりされる複数のロック室と、前記搬送室内に配置され前記ロック室と前記複数の真空処理容器内の処理室との間で前記試料を搬送する真空搬送手段と、前記ロック室の大気側に連結され内部に大気圧下で前記試料を搬送する空間を有した大気搬送容器と、この大気搬送容器内の空間に配置され前面側に装着される前記試料を収納するカセットから前記試料を搬送する大気搬送手段と、複数の前記試料を定められた前記試料が滞留する時間を含み前記カセットから搬出して前記処理室で処理された後に前記カセットに戻すまでの複数の動作の予定情報に基づいて前記動作を調節する制御装置とを備えた真空処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA02
, 5F031GA03
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031MA04
, 5F031MA13
, 5F031MA32
, 5F031NA04
, 5F031NA05
, 5F031NA07
, 5F031NA17
, 5F031PA03
, 5F031PA07
