特許
J-GLOBAL ID:201003007706800140

感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体、被加工基材の表面加工方法及びプラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  小野田 浩之 ,  齋藤 都子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-248913
公開番号(公開出願番号):特開2010-079070
出願日: 2008年09月26日
公開日(公表日): 2010年04月08日
要約:
【課題】現像後の解像性及び密着性並びに耐サンドブラスト密着性に優れ、サンドブラスト用のマスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工できる感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体、被加工基材の表面加工方法及びプラズマディスプレイの背面板の製造方法を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性高分子化合物:20〜80質量%、(B)特定ポリウレタンプレポリマー:10〜70質量%、(C)少なくとも1つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜60質量%、及び(D)光重合開始剤:0.01〜20質量%を含有する感光性樹脂組成物を提供する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)アルカリ可溶性高分子化合物:20〜80質量%、 (B)ポリウレタンプレポリマー:10〜70質量%、 (C)少なくとも1つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜60質量%、及び (D)光重合開始剤:0.01〜20質量% を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(B)ポリウレタンプレポリマーが、 (a)末端に水酸基を有するポリマー若しくはモノマーと(b)ポリイソシアネートとの付加重合により得られるポリウレタンの末端イソシアネート基に対して、(c)活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合とを分子内に有する化合物を反応させて得られるポリウレタンプレポリマーであり、 前記(a)末端に水酸基を有するポリマー又はモノマーの重量平均分子量が500〜2500であり、 前記(a)末端に水酸基を有するポリマー又はモノマーが、下記一般式(I):
IPC (5件):
G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02
FI (6件):
G03F7/027 513 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/033 ,  G03F7/004 512 ,  H01J9/02 F ,  H01J11/02 B
Fターム (36件):
2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC66 ,  2H025CA03 ,  2H025CA14 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CC13 ,  2H025CC15 ,  2H025FA17 ,  2H025FA42 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA09 ,  2H096HA30 ,  5C027AA09 ,  5C040GF18 ,  5C040GF19 ,  5C040JA15 ,  5C040JA17 ,  5C040KA16 ,  5C040KB28 ,  5C040MA22 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24 ,  5C040MA25
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (8件)
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