特許
J-GLOBAL ID：201003008421322284
アクチュエータ装置、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-310587
公開番号（公開出願番号）：特開2010-131881
出願日： 2008年12月05日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
要約：
【課題】リード電極と上電極膜との電気的接触を確保し、アクチュエータ装置の変位量を大きくして、液体噴射装置で噴射できるインク量を増やして高速で印刷したり、圧力発生室の容量を小さくして液体噴射ヘッドを小型化したりすること。【解決手段】上電極膜80の厚い第2の領域に設けられた保護膜100に開口部100aが設けられているので、エッチングがばらついても開口部100a形成時に上電極膜80が完全に除去される可能性は少なく、開口部100aには上電極膜80が広い面積で露出し、リード電極90と電気抵抗の低い接続を得ることができる。一方、上電極膜80の第1の領域は薄く、上電極膜80の第1の領域と基板と弾性膜50と下電極膜60と圧電体層70とを合わせた圧電体能動部320の変位への上電極膜80による阻害を少なくでき、変位量が大きくインクの噴射量の多い圧電アクチュエータ310を得ることができる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板上に形成された第1の電極と、
前記第1の電極上に形成された圧電体層と、
前記圧電体層上に形成された第2の電極と、
前記第2の電極の上面の少なくとも一部と側面とを覆うカバレッジ膜とを備え、
前記第2の電極は、第1の領域と、前記第1の領域より厚い第2の領域を含み、
前記第2の領域に設けられた前記カバレッジ膜に、外部配線と前記第2の電極とを接続するための開口部が形成されている
ことを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (2件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2C057AF03
, 2C057AG41
, 2C057AG42
, 2C057AP31
, 2C057BA04
, 2C057BA14
