温度制御装置、露光システムおよびデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-177406
公開番号（公開出願番号）：特開2010-016318
出願日： 2008年07月07日
公開日（公表日）： 2010年01月21日
要約：

【課題】安定かつ高精度な温度制御に好適な技術を提供する。【解決手段】温度を制御する温度制御装置200は、加熱部30と、温度を検出する温度検出部36と、目標温度と前記温度検出部によって検出された温度との偏差Eに基づいて操作量MVrを演算する演算部100と、操作量MVrに応じて電圧又は電流が調整された電力を加熱部30に供給する電力調整器28とを備える。演算部100は、比例要素、積分要素および微分要素のうち少なくとも比例要素を偏差Eに乗じる第1演算部32と、平方根を演算する第2演算部34とを含み、第1演算部32と第2演算部34とが直列に接続されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

温度を制御する温度制御装置であって、加熱部と、温度を検出する温度検出部と、目標温度と前記温度検出部によって検出された温度との偏差に基づいて操作量を演算する演算部と、前記操作量に応じて電圧又は電流が調整された電力を前記加熱部に供給する電力調整器とを備え、前記演算部は、比例要素、積分要素および微分要素のうち少なくとも前記比例要素を有する第1演算部と、平方根を演算する第2演算部とを含み、前記第1演算部と前記第2演算部とが直列に接続されている、ことを特徴とする温度制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , H05B 3/00 , G05D 23/19

FI (5件)：

H01L21/30 516E , H01L21/30 502H , H05B3/00 310D , H05B3/00 310J , G05D23/19 J

Fターム (27件)：

3K058AA42 , 3K058BA14 , 3K058CA03 , 3K058CA04 , 3K058CA05 , 3K058CA52 , 3K058CB06 , 3K058CD01 , 5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046DA04 , 5F046DA26 , 5H323AA05 , 5H323AA40 , 5H323BB01 , 5H323CA02 , 5H323CA04 , 5H323CB02 , 5H323DA02 , 5H323DA03 , 5H323DB03 , 5H323EE01 , 5H323FF01 , 5H323HH02 , 5H323JJ03 , 5H323LL27 , 5H323MM06

引用特許：

出願人引用 (1件)

温度調節装置およびデバイス製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-151264 出願人：キヤノン株式会社

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