特許

J-GLOBAL ID：201003009064155117

封入されたグラファイト加熱器および方法

発明者： マリナー,ジョン,トーマス
出願人/特許権者： モメンティブ パフォーマンス マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-546442
公開番号（公開出願番号）：特表2010-517224
出願日： 2008年01月18日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：

B、Al、Si、Ga、耐火性硬化金属、遷移金属、および、希土類金属、またはそれらの錯体および/または組み合わせからなる群から選択される要素の窒化物、炭化物、炭窒化物もしくは酸窒化物の少なくとも一つを含有する連続の保護被膜層で封入されるグラファイトを通って少なくとも一つの加熱区域のための電気加熱回路を形成するように構成され、ここで電気加熱回線経路を形成するように構成される前にグラファイト体がB、Al、Si、Ga、耐火性硬化金属、遷移金属、および、希土類金属、またはそれらの錯体および/または組み合わせからなる群から選択される要素の窒化物、炭化物、炭窒化物もしくは酸窒化物の少なくとも一つを含有する層によって被覆される、グラファイト体を含有するグラファイト加熱器およびグラファイト加熱器を作成する方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

加熱器であって、 グラファイトの固形の自立体から少なくとも一つの電気加熱回路の区域を画定する電気流路のパターンへと構成されるグラファイト体であって、前記電気回路が末端を前記電気流路へと電気的に接続している端末側終端を含み、前記グラファイト体が少なくとも一つの加熱表面を有している、グラファイト体、 前記パターン化されたグラファイト体を封入している被膜層であって、前記被膜層がB、Al、Si、Ga、耐火性硬化金属、遷移金属、および、希土類金属、またはそれらの錯体および/もしくは組み合わせからなる群から選択される要素の窒化物、炭化物、炭窒化物もしくは酸窒化物の少なくとも一つを含有する、被膜層;ならびに 前記加熱表面に配置される表面層であって、前記表面層がB、Al、Si、Ga、耐火性硬化金属、遷移金属、および、希土類金属、またはそれらの錯体および/もしくは組み合わせからなる群から選択される要素の窒化物、炭化物、炭窒化物もしくは酸窒化物の少なくとも一つを含有し、ここで前記表面層が前記パターン化されたグラファイト体を一つの一体のユニットへと接続する、表面層 を含有する、加熱器。

IPC (6件)：

H05B 3/14 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/38 ,  H05B 3/12 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/74

FI (6件)：

H05B3/14 F ,  H01L21/31 A ,  C23C16/38 ,  H05B3/12 B ,  H05B3/10 C ,  H05B3/74

Fターム (20件)：

3K092PP09 ,  3K092QA05 ,  3K092QB03 ,  3K092QB04 ,  3K092QB14 ,  3K092QB43 ,  3K092QB75 ,  3K092QB76 ,  3K092QB77 ,  3K092QB78 ,  3K092RF17 ,  3K092VV31 ,  4K030AA03 ,  4K030AA13 ,  4K030BA39 ,  4K030CA05 ,  4K030DA08 ,  4K030FA10 ,  5F045EK08 ,  5F045EK09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 熱分解窒化ホウ素放射ヒーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-117191   出願人：アドバンスドセラミックスコーポレイション
• 封入した黒鉛ヒーター及び方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-546915   出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ