液体吐出ヘッドの製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 緒方雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-319640
公開番号（公開出願番号）：特開2010-142970
出願日： 2008年12月16日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：

【課題】均一かつ精度の良いインク流路及びインク吐出口を有し、インク吐出特性にばらつきの少ない液体吐出ヘッドを簡便に作製することのできる方法を提供する。【解決手段】(A)基体2の表面に、活性エネルギー線硬化型樹脂層3を形成し、活性エネルギー線硬化型樹脂層の表面に、活性エネルギー線透過物質4を付着させる工程と、(B)活性エネルギー線を透過し、吐出口のパターンの突起形状を有する原盤5を、活性エネルギー線透過物質に押し付け、突起形状を活性エネルギー線透過物質に転写する工程と、(C)活性エネルギー線硬化型樹脂層に対して液体流路のパターンに活性エネルギー線7を選択照射し、活性エネルギー線硬化型樹脂層を硬化する工程と、(D)原盤を除去する工程と、(E)活性エネルギー線硬化型樹脂層の未硬化部を除去する工程と、を有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

液体を吐出する吐出口と、前記液体を吐出するための吐出エネルギー発生素子と、前記吐出エネルギー発生素子を内包し前記吐出口に連通する液体流路と、を少なくとも有する液体吐出ヘッドの製造方法において、 (A)前記吐出エネルギー発生素子が形成された基体の表面に、活性エネルギー線硬化型樹脂層を形成する工程と、 (B)前記活性エネルギー線硬化型樹脂層の表面に、活性エネルギー線を透過する物質を付着させる工程と、 (C)前記活性エネルギー線を透過し、前記吐出口のパターンの突起形状を有する原盤を、前記活性エネルギー線を透過する物質に押し付け、前記突起形状を前記活性エネルギー線を透過する物質に転写する工程と、 (D)前記活性エネルギー線硬化型樹脂層に対して前記液体流路のパターンに活性エネルギー線を選択照射し、前記活性エネルギー線硬化型樹脂層を硬化する工程と、 (E)前記原盤を除去する工程と、 (F)前記活性エネルギー線硬化型樹脂層の未硬化部を除去する工程と、を少なくとも有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

IPC (1件)：

B41J 2/16

FI (1件)：

B41J3/04 103H

Fターム (11件)：

2C057AF21 , 2C057AF93 , 2C057AG08 , 2C057AG14 , 2C057AP02 , 2C057AP32 , 2C057AP34 , 2C057AP37 , 2C057AP47 , 2C057AP57 , 2C057AQ02

引用特許：

出願人引用 (4件)

インクジェットプリントヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-295069 出願人：三星電子株式会社
微小孔を貫通形成する装置及び方法並びにインクジェット記録ヘッド用ノズルプレートの製造装置及び製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-010110 出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
有孔プレートの製造方法及びこれを用いた液体吐出ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-378971 出願人：富士フイルム株式会社

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