インクジェットプリントヘッド及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：亀谷美明 , 金本哲男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-295069
公開番号（公開出願番号）：特開2004-074804
出願日： 2003年08月19日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】耐久性の向上と,製造工程の簡素化が可能なモノリシック方式のバブル型のインクジェットプリントヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】インクを加熱するための抵抗体とインク供給口を含む基板,及びインクチャンバー,インク供給路などの流路構造とノズルを同時に形成するよう二種以上の光透過率を有する1枚のフォトマスクを使用してフォトレジストをフォトリソグラフィ工程でパターニングすることによって基板上に形成されたチャンバー/ノズルプレートを備えることを特徴とする。【選択図】図21

請求項（抜粋）：

インクを加熱するための抵抗体とインク供給口を備える基板と, インクチャンバー,インク供給路等の流路構造とノズルを同時に形成するよう二種以上の光透過率を有する1枚のフォトマスクを使用してフォトレジストをフォトリソグラフィ工程でパターニングすることによって前記基板上に形成されたチャンバー/ノズルプレートを備えることを特徴とする,インクジェットプリントヘッド。

IPC (3件)：

B41J2/05 , B41J2/135 , B41J2/16

FI (3件)：

B41J3/04 103B , B41J3/04 103H , B41J3/04 103N

Fターム (9件)：

2C057AF65 , 2C057AF93 , 2C057AF99 , 2C057AG12 , 2C057AP31 , 2C057AP47 , 2C057AQ04 , 2C057BA04 , 2C057BA13

引用特許：

審査官引用 (7件)

インクジェットヘッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-079000 出願人：キヤノン株式会社
階調マスク
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-049837 出願人：日本石油株式会社
特開昭61-036748

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