形状測定装置及び方法、並びにプログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：稲本義雄 , 西川孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-219125
公開番号（公開出願番号）：特開2010-054320
出願日： 2008年08月28日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：

【課題】対物レンズの光軸に沿って、被検物を移動させることなく、被検物の形状を測定できるようにする。【解決手段】MLA12は、対物レンズ11の瞳面又は結像面に配置され、撮像素子13は、MLA12の背後に設置され、対物レンズ11による被検物像を撮像する。演算処理回路34は、撮像素子13の出力から複数の測定画像を生成し、MLA12の2次元状に配列された複数のMLの各々に対応する撮像素子13の撮像領域を構成する画素のうち、対物レンズ11の主光線と交わる位置にある画素から得られる基準画像を、測定画像の補正情報として用いて、被検物の3次元の形状を測定する。本発明は、被検物の3次元の形状を計測する形状測定装置に適用できる。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

対物レンズと、前記対物レンズの背後に2次元に配列された複数のレンズを有する光学素子と、前記光学素子の背後に配置された2次元の撮像素子と、前記撮像素子の出力から複数の測定画像を生成する画像生成手段と、前記複数のレンズの各々に対応する前記撮像素子の撮像領域を構成する画素のうち、前記対物レンズの主光線と交わる位置にある画素から得られる基準画像を、前記測定画像の補正情報として用いて、被検物の3次元の形状を測定する3次元形状測定手段とを備えることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 K

Fターム (9件)：

2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065FF10 , 2F065JJ19 , 2F065LL04 , 2F065QQ16 , 2F065RR09 , 2F065UU02 , 2F065UU05

引用特許：

出願人引用 (4件)

特許第2960684号公報
撮像の装置と方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2007-534796 出願人：ザボードオブトラスティーズオブザレランドスタンフォードジュニアユニバーシティー
距離測定装置および距離測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-287320 出願人：シャープ株式会社

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審査官引用 (3件)

撮像の装置と方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2007-534796 出願人：ザボードオブトラスティーズオブザレランドスタンフォードジュニアユニバーシティー
距離測定装置および距離測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-287320 出願人：シャープ株式会社
距離測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-140420 出願人：株式会社ニコン

引用文献：

出願人引用 (1件)

ライトフィールドカメラによる距離計測

審査官引用 (1件)

ライトフィールドカメラによる距離計測

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