特許
J-GLOBAL ID:201003016102683455
静電誘導型のエネルギー変換素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中野 雅房
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-312742
公開番号(公開出願番号):特開2010-136598
出願日: 2008年12月08日
公開日(公表日): 2010年06月17日
要約:
【課題】エレクトレットに多くの電荷を荷電できる静電誘導型のエネルギー変換素子を提供する。【解決手段】固定基板22の上面には、短冊状をした複数本のベース電極27が平行に配列され、各ベース電極27の上にそれぞれエレクトレット28が形成される。エレクトレット28の幅はベース電極27の幅よりも広くなっており、エレクトレット28は、ベース電極27の露出面を覆っている。固定基板22のエレクトレット28等が設けられた面に対向して可動基板23が平行に配置されており、可動基板23は固定基板22に対して相対的に移動可能となっている。可動基板23の対向面には、ベース電極27と対向するようにしてそれぞれ短冊状の対向電極32を形成している。【選択図】図4
請求項(抜粋):
所定の間隔を隔てて対向し、かつ互いに相対的に移動可能となった第1の基板と第2の基板を備え、
前記第1の基板と前記第2の基板の互いに対向する面に、それぞれ少なくとも1つの導電性部材が形成され、
前記導電性部材はいずれも複数本の電極と電極パッドを有し、
前記導電性部材のうち少なくとも一つの導電性部材には、各電極に対応してエレクトレットが形成されており、
前記エレクトレットは、各電極の表面のうちいずれかの基板に固定されている面と反対面を覆うとともに、各電極の外周面を5μm以上の被覆厚で覆っていることを特徴とするエネルギー変換素子。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
出願人引用 (1件)
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静電誘導型変換素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-178169
出願人:国立大学法人東京大学
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