特許
J-GLOBAL ID:201003016384558194
強誘電体膜、圧電素子、及び液体吐出装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-149103
公開番号(公開出願番号):特開2010-016010
出願日: 2008年06月06日
公開日(公表日): 2010年01月21日
要約:
【課題】バイポーラ分極-電界曲線がダブルヒステリシス性を示し、大きな変位が期待される新規な強誘電体膜を提供する。【解決手段】強誘電体膜は、最大印加電界Emaxと最小印加電界Eminの絶対値とを同一に設定して(Emax=|Emin|)測定されるバイポーラ分極-電界曲線が、少なくとも5個の変曲点を有し、かつ、最大分極値Pmaxと最小分極値Pminの絶対値とが略等しい(Pmax≒|Pmin|)ダブルヒステリシス性を有するものである。強誘電体膜は、1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物からなり、不可避不純物を含んでいてもよい。【選択図】図1
請求項(抜粋):
最大印加電界Emaxと最小印加電界Eminの絶対値とを同一に設定して(Emax=|Emin|)測定されるバイポーラ分極-電界曲線が、少なくとも5個の変曲点を有し、かつ、最大分極値Pmaxと最小分極値Pminの絶対値とが略等しい(Pmax≒|Pmin|)ダブルヒステリシス性を有することを特徴とする強誘電体膜。
IPC (9件):
H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/24
, H01L 41/22
, H01L 21/824
, H01L 27/105
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 21/316
FI (8件):
H01L41/08 C
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 L
, H01L41/22 A
, H01L41/22 Z
, H01L27/10 444C
, B41J3/04 103A
, H01L21/316 X
Fターム (28件):
2C057AF03
, 2C057AG44
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 5F058BA11
, 5F058BA20
, 5F058BB06
, 5F058BC03
, 5F058BF11
, 5F058BF36
, 5F058BH03
, 5F058BJ10
, 5F083FR00
, 5F083GA30
, 5F083HA02
, 5F083HA10
, 5F083JA13
, 5F083JA14
, 5F083JA15
, 5F083JA36
, 5F083JA37
, 5F083JA38
, 5F083JA39
, 5F083JA43
, 5F083JA44
, 5F083JA45
, 5F083PR22
, 5F083PR33
引用特許:
引用文献:
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