特許
J-GLOBAL ID：201003017718662741
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 田中 玲子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-275981
公開番号（公開出願番号）：特開2010-101857
出願日： 2008年10月27日
公開日（公表日）： 2010年05月06日
要約：
【課題】カンチレバーのQ値に拘わらず、探針が試料に接触しなくても試料表面を観察することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】試料に対して試料側周波数f1の超音波が発射され、カンチレバー3にレバー側周波数f2の超音波が発射される。抽出部25は、カンチレバー3の振動信号から、非接触状態にある探針及び試料間の距離に応じて変化する特定周波数成分を抽出する。特定周波数成分は、例えば試料側周波数f1及びレバー側周波数f2の差の絶対値の周波数成分であり、或いは、試料側周波数f1の成分である。振幅検出部27が特定周波数成分の振幅を検出する。フィードバック制御部29は、特定周波数成分の振幅を用いてスキャナ7のフィードバック制御を行う。フィードバック制御の目標値は、カンチレバー3と試料が非接触状態で近接しているときの特定周波数成分の振幅に設定されている。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
探針を有するカンチレバーと、
前記カンチレバー及び試料の相対的な走査を行うスキャナと、
前記試料に対して試料側周波数の超音波を発射する試料側超音波発射部と、
前記試料側周波数と異なるレバー側周波数の超音波を前記カンチレバーに発射するレバー側超音波発射部と、
前記カンチレバーの振動を表すレバー振動信号を検出するセンサと、
前記レバー振動信号から、非接触状態にある前記探針及び前記試料間の距離に応じて変化する特定周波数成分を抽出する抽出部と、
前記特定周波数成分の振幅を検出する振幅検出部と、
前記特定周波数成分の前記振幅が所定の目標値に一致するように前記スキャナのフィードバック制御を行うフィードバック制御部とを備え、
前記フィードバック制御の前記目標値は、前記探針と前記試料が非接触状態で近接しているときの前記特定周波数成分の振幅に設定されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N13/16 101D
, G01N13/10 L
