試料を二つの別個のチャンネルで同時に検査するためのシステムおよび方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-523110
公開番号（公開出願番号）：特表2010-538272
出願日： 2008年08月27日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【解決手段】試料を検査するためシステムをここに提供する。一つの実施態様において、このシステムは、2重チャンネル顕微鏡と、各々が2重チャンネル顕微鏡の異なるチャンネルを照明するために連結された二つの照明装置と、各々が試料のイメージを得るために2重チャンネル顕微鏡の異なるチャンネルに連結された二つの検出器とを含むことができる。前記二つの検出器が、試料のイメージを実質的に同時に得ることができるように、2重チャンネル顕微鏡のチャンネルを分離するための手段を提供する。一つの実施態様において、二つの照明装置を、二つの実質的に重なり合わないスペクトルの範囲の光を出力するように構成することにより、2重チャンネル顕微鏡のチャンネルをスペクトル的に分離できる。別の実施態様において、照明光が重なり合わなく、また、二つの検出器の視野がシステム内に含まれた対物レンズの視野内で重なり合わないように、二つの検出器を配置することにより、2重チャンネル顕微鏡のチャンネルを空間的に分離できる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

試料を検査するためのシステムであって、該システムは、 2重チャンネル顕微鏡と、二つの照明装置であって、各々が前記2重チャンネル顕微鏡の異なるチャンネルを照明するために連結されている二つの照明装置と、二つの検出器であって、各々が試料のイメージを取得するために、前記2重チャンネル顕微鏡の異なるチャンネルに連結されている二つの検出器と、前記二つの検出器が実質的に同時に前記試料のイメージを得ることができるように、前記2重チャンネル顕微鏡のチャンネルを分離するための手段と、を備えるシステム。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , G01B 11/24 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A , G01B11/24 A , H01L21/66 J

Fターム (34件)：

2F065AA49 , 2F065BB22 , 2F065CC02 , 2F065CC17 , 2F065CC19 , 2F065DD04 , 2F065FF01 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065GG24 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065LL46 , 2F065PP24 , 2F065QQ16 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051BB03 , 2G051BB05 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CC09 , 2G051CC12 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106BA04 , 4M106CA38 , 4M106DB02 , 4M106DB18 , 4M106DB19

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭61-029712
特開昭61-029712
表面の光学的検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-249981 出願人：ホロジェニックスインコーポレイテッド, 山下電装株式会社

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