感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、パターン形成方法、及び当該感光性樹脂組成物を用いた物品、並びに塩基発生剤

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：岸本達人 , 山下昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-082894
公開番号（公開出願番号）：特開2010-106233
出願日： 2009年03月30日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：

【課題】解像性に優れ、低コストで、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体の構造上適用可能な選択肢の範囲が広い感光性樹脂組成物及びその様な感光性樹脂組成物に利用可能な塩基発生剤を提供する。【解決手段】塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体、及び、特定の構造を有し、電磁波の照射と加熱により、塩基を発生する塩基発生剤を含有することを特徴とする、感光性樹脂組成物、並びに特定の構造を有し、電磁波の照射と加熱により、塩基を発生することを特徴とする、塩基発生剤。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体、及び、下記化学式(1)で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生する塩基発生剤を含有することを特徴とする、感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

C09K 3/00 , C07C 235/34 , G03F 7/004 , G03F 7/38 , G03F 7/038 , G03F 7/075 , C07C 235/36

FI (8件)：

C09K3/00 K , C07C235/34 , G03F7/004 503B , G03F7/38 511 , G03F7/038 503 , G03F7/038 504 , G03F7/075 511 , C07C235/36

Fターム (37件)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AD01 , 2H025BE00 , 2H025CB25 , 2H025CB30 , 2H025CB33 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096AA28 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096EA03 , 2H096EA06 , 2H096EA07 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096JA03 , 2H096JA04 , 4H006AA03 , 4H006AB80 , 4H006BJ50 , 4H006BN30 , 4H006BP30 , 4H006BV34 , 4H006BV35

引用特許：

審査官引用 (4件)

特許第4853594号
ホログラム記録材料用組成物、ホログラム記録材料及びホログラム記録方法。
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-178083 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性樹脂組成物、レリーフパターンの製造方法及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-000950 出願人：国立大学法人東京工業大学, 旭化成エレクトロニクス株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

Chem.Pharm.Bull, 1997, Vol.45,No.4, p.715-718
Polymer Preprints,Japan, 2007, Vol.56,No.2, p.4263

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