特許
J-GLOBAL ID：201003020221297480

荷電粒子線装置

発明者：
伊東 祐博

伊東 祐博 について

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片根 純一

片根 純一 について

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川俣 茂

川俣 茂 について

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富田 真一

富田 真一 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-167023
公開番号（公開出願番号）：特開2010-009907
出願日： 2008年06月26日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：
【課題】左右視差角分のビーム傾斜により得られる画像から立体画像(ステレオ画像)を構築する走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】試料に入射する荷電粒子線を左右視差角分に相当する傾斜角に設定する。この構成に、1ライン単位で視差角分のビーム傾斜走査を実行する制御部を設けて、左右の傾斜ビームで試料上を走査し、画像を取得する。また、レンズの振り戻し作用を利用した複数段レンズの光学系で総合的に相殺させる手段と、視差角ビーム制御を組合せることにより、分解能劣化を抑えた立体画像を実時間(リアルタイム)に表示する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子源と、複数のレンズを含み前記荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を集束して試料上で走査する荷電粒子光学系と、前記一次荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次荷電粒子を検出する検出手段と、前記複数のレンズを制御する制御部とを備え、前記検出手段の二次荷電粒子検出信号を用いて試料像を取得する荷電粒子線装置において、 前記制御部は、試料に入射する前記一次荷電粒子線に対して、前記荷電粒子光学系を介して視差角に相当する左傾斜角と右傾斜角を設定して、試料上の1ライン単位で前記左傾斜角と右傾斜角の両方の走査制御を行うように前記一次荷電粒子線を制御する視差角走査制御手段と、この走査制御により前記検出手段から得られる二次荷電粒子検出信号に基づき左右の視差画像を取得する視差画像形成手段と、を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/147 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/18
FI (3件)：
H01J37/147 B ,  H01J37/153 B ,  H01J37/18
Fターム (2件)：
5C033FF04 ,  5C033JJ07
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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