特許

J-GLOBAL ID：201003021524599981

マザー基板のスクライブ方法

発明者： ▲高▼松 生芳
出願人/特許権者： 三星ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (1件)： 鹿島 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-221035
公開番号（公開出願番号）：特開2010-052995
出願日： 2008年08月29日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：

【課題】 スクライブ加工時にブレイクしにくいスクライブ方法を提供する。【解決手段】 マザー基板のY方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブは、基板にスクライビングホイールを圧接させて、マザー基板側を圧接状態でY方向に搬送することにより行い、マザー基板のX方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブは、スクライビングホイール側を圧接状態でX方向に移動することにより行い、互いに交差するX方向およびY方向のスクライブラインを形成するマザー基板のスクライブ方法であって、(a)前記単位表示パネル間にあるY方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブ、(b)X方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブ、(c)前記マザー基板の周縁にあるY方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブ、の順でスクライブラインを形成する。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

加工対象となるマザー基板のX方向およびY方向に単位表示パネルが並べて配置され、前記単位表示パネル間、および、前記マザー基板の周縁に、X方向またはY方向に沿ったスクライブ予定ラインが設定され、 前記マザー基板のY方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブは、マザー基板側を圧接状態でY方向に搬送することにより行い、 前記マザー基板のX方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブは、スクライビングホイール側を圧接状態でX方向に移動することにより行い、 互いに交差するX方向およびY方向のスクライブラインを形成するマザー基板のスクライブ方法であって、 (a)前記単位表示パネル間にあるY方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブ、 (b)X方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブ、 (c)前記マザー基板の周縁にあるY方向のスクライブ予定ラインに対するスクライブ、の順でスクライブラインを形成するマザー基板のスクライブ方法。

IPC (3件)：

C03B 33/037 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133

FI (3件)：

C03B33/037 ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333

Fターム (23件)：

2H088FA06 ,  2H088FA07 ,  2H088FA17 ,  2H088FA26 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H189CA10 ,  2H189CA18 ,  2H189CA21 ,  2H189CA25 ,  2H189CA27 ,  2H189FA82 ,  2H189HA16 ,  2H189LA01 ,  4G015FA02 ,  4G015FA03 ,  4G015FB01 ,  4G015FB02 ,  4G015FC02 ,  4G015FC10 ,  4G015FC11 ,  4G015FC14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板分断システム、基板製造装置、基板スクライブ方法および基板分断方法
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2005004478   出願人：三星ダイヤモンド工業株式会社