特許
J-GLOBAL ID：201003021653109460

研磨剤スラリー廃液からの研磨剤回収方法及び装置

発明者：
中村 英生

中村 英生 について

, 
小林 勝弘

小林 勝弘 について

, 
松本 五男

松本 五男 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2007062046
公開番号（公開出願番号）：WO2008-020507
出願日： 2007年06月14日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
研磨剤スラリー廃液から研磨によって混入した小径異物や大径異物を効果的に除去し研磨剤を回収することを目的とする。 研磨剤スラリー廃液同士を分散容器内において高圧ジェット流として衝突させる高圧ジェット分散機と、高圧ジェット分散機で分散した分散液及び/又は濾過フィルタに超音波を付与しながら該分散液を濾過フィルタで濾過する超音波濾過機と、超音波濾過機で濾過した濾過液をサイクロンで分級処理するサイクロンと、を備えた回収装置によって研磨剤スラリー廃液から研磨剤を回収する。
請求項（抜粋）：
研磨剤と、該研磨剤の粒子径よりも小さな小径異物と、前記研磨剤の粒子径よりも大きな大径異物と、が凝集し凝集物として存在している研磨剤スラリー廃液から研磨剤を回収する回収方法であって、 前記研磨剤スラリー廃液の機械的な分散処理を行う分散工程と、 前記分散処理された分散液を濾過処理して前記分散液から前記大径異物を除去する濾過工程と、 前記濾過処理された濾過液をサイクロンによって分級処理し、該濾過液中の前記研磨剤と前記小径異物とを分級する分級工程と、を備えたことを特徴とする研磨剤スラリー廃液からの研磨剤回収方法。
IPC (6件)：
B24B 57/02 ,  C02F 11/12 ,  B03B 5/28 ,  B03B 9/06 ,  B03B 5/02 ,  B02C 19/06
FI (6件)：
B24B57/02 ,  C02F11/12 C ,  B03B5/28 B ,  B03B9/06 ,  B03B5/02 ,  B02C19/06 A
Fターム (20件)：
3C047FF08 ,  3C047GG07 ,  3C047GG14 ,  3C047GG17 ,  4D059AA30 ,  4D059BE15 ,  4D059BE70 ,  4D059BF20 ,  4D059BK17 ,  4D059BK30 ,  4D059CA21 ,  4D059CC10 ,  4D067CA01 ,  4D067EE12 ,  4D067GA20 ,  4D071AA11 ,  4D071AA53 ,  4D071CA03 ,  4D071CA05 ,  4D071DA15
引用特許：
出願人引用 (3件)

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