ウエハテストシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人サトー国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-333767
公開番号（公開出願番号）：特開2010-157550
出願日： 2008年12月26日
公開日（公表日）： 2010年07月15日
要約：

【課題】プローバ本体の小型化と省スペース化を図る手段の提供。【解決手段】プローバ本体1は、前面部に1つのローダロボットおよび2つのウエハカセット据え付けポートを配置し、背面側に4つのウエハステージ部3a〜3dを並べて配置する構成とした。ウエハステージ部の3a〜3dのテストヘッド12a〜12dは、軽量化をはかることで、手動でメンテナンス作業が出来る程度の重量になり、並べて配置できるようになった。テストヘッドからの排熱を上方に導き、低温チラー16a、16bにより排熱する構成としたので、温度による不安定な動作も抑制できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プローバ本体の前面側の上部に設けられウエハカセットを装着する2組のウエハカセット据え付けポートと、前記プローバ本体の前面側の下部に移動可能に設けられ前記2組のウエハカセット据え付けポートに装着された前記ウエハカセットに対してウエハの出し入れを行うと共にウエハの搬送を行うローダロボットと、前記プローバ本体の背面側に並べて設けられ前記ローダロボットにより搬送されたウエハの載置台を備えると共に前記載置台を上下移動可能に構成された複数のステージロボットと、前記複数のステージロボットに対応したヘッドプレートに装着され前記載置台に載置されたウエハに接触する検査用のプローブを備えたプローブカードと、前記複数のステージロボットのそれぞれに対応して設けられ前記プローブカードに電気的に接続してウエハテストを行うテスト用の回路基板を備えたテストヘッドと、前記プローバ本体の前面部および背面部の双方に前記複数のステージロボットに対する集中操作可能に設けられた操作パネルとを備えたことを特徴とするウエハテストシステム。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , G01R 31/28

FI (2件)：

H01L21/66 B , G01R31/28 H

Fターム (11件)：

2G132AB01 , 2G132AC03 , 2G132AE18 , 2G132AE22 , 2G132AF06 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106DD10 , 4M106DD30 , 4M106DJ01

引用特許：

出願人引用 (1件)

プローバ
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-014543 出願人：株式会社東京精密

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