特許
J-GLOBAL ID：201003022141331019
半導体製造装置の異常診断システムおよび方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
橋本 剛
, 鵜澤 英久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-171920
公開番号（公開出願番号）：特開2010-015205
出願日： 2008年07月01日
公開日（公表日）： 2010年01月21日
要約：
【課題】高機能化、複雑化した半導体製造装置の故障診断や故障予知をリアルタイムで実行できる。【解決手段】装置データ収集装置1は、半導体製造装置6から各種装置データを収集してデータベース5に保存する。データ解析・モデル作成ツール4は、半導体製造処理が正常に行なわれたときに、装置データから必要な区間のトレースデータを抽出し、このトレースデータの統計解析結果をモデルデータとして保存しておく。リアルタイムデータ収集装置2は、装置データ収集装置が収集する装置データのうち、半導体製造装置の故障診断・予知に必要な区間のトレースデータをリアルタイムで収集する。リアルタイム装置データ監視装置3は、トレースデータについて統計解析を行い、この解析結果がモデルデータを逸脱していた場合に半導体製造装置の製造処理に異常が発生したと判定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体製造装置による半導体製造処理中の装置データを収集し、この装置データを基に半導体製造装置の故障診断や故障予知をリアルタイムで実行する異常診断システムであって、
半導体製造装置から各種装置データを収集してデータベースに保存する装置データ収集装置と、
半導体製造処理が正常に行なわれたときに、前記装置データから必要な区間のトレースデータを抽出し、このトレースデータの統計解析結果をモデルデータとして保存しておくデータ解析・モデル作成ツールと、
前記装置データ収集装置が半導体製造装置から収集する装置データのうち、半導体製造装置の故障診断・予知に必要な区間のトレースデータをリアルタイムで収集するリアルタイムデータ収集装置と、
前記リアルタイムデータ収集装置が収集したトレースデータについて統計解析を行い、この解析結果が前記モデルデータを逸脱していた場合に半導体製造装置の製造処理に異常が発生したと判定するリアルタイム装置データ監視装置と、
を備えたことを特徴とする半導体製造装置の異常診断システム。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G05B23/02 T
, G05B23/02 301V
5H223AA05
, 5H223AA20
, 5H223BB02
, 5H223BB08
, 5H223EE06
, 5H223FF05
