特許
J-GLOBAL ID:201003022931984675

X線検査方法、X線検査装置およびX線検査プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-002814
公開番号(公開出願番号):特開2010-160071
出願日: 2009年01月08日
公開日(公表日): 2010年07月22日
要約:
【課題】X線検査装置において、実装部品の基板との接続配線についての情報が正確にかつ容易に入力されるようにする。【解決手段】基板検査のティーチングにおいて、ユーザが基板の可視光画像に対して検査対象とする部品の2次元領域を入力すると、当該領域について、3次元データを生成し、これを解析することにより、当該部品を基板を接続するボール端子についての中心座標、個数、行数および列数を取得する。なお、このように取得された中心座標等の結果は、表示されても良い。画面1501内の表示欄1502に、基板についての可視光画像が表示されている。表示欄1502には、可視光画像に合わせて、検査対象として取得された領域に対応する枠610とともに、3次元データに基づいて取得されるはんだボールの位置等に基づいて、各はんだボールに対応する枠610Cが表示されている。【選択図】図15
請求項(抜粋):
X線を用いて基板を検査する方法であって、 前記基板を撮影した可視光画像を表示させるステップと、 前記表示された画像に対する、基板に実装された部品の位置を指定する情報の入力を受付けるステップと、 前記入力を受付けた部品の位置の、X線の透視画像に基づいて3次元データを生成するステップと、 前記3次元データを処理することにより、前記基板と前記部品を接続する配線の位置の情報を特定するステップとを備える、X線検査方法。
IPC (1件):
G01N 23/04
FI (1件):
G01N23/04
Fターム (9件):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001GA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001KA03 ,  2G001KA04 ,  2G001LA11
引用特許:
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る