特許
J-GLOBAL ID：200903056741886589

X線検査装置、X線検査方法およびX線検査プログラム

発明者：
寺本 篤司

寺本 篤司 について

, 
村越 貴行

村越 貴行 について


出願人/特許権者：
名古屋電機工業株式会社

名古屋電機工業株式会社 について


代理人 (2件)： 横井 俊之 ,  岩上 渉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-110815
公開番号（公開出願番号）：特開2006-292465
出願日： 2005年04月07日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】 検査対象とすべき最適な断層像を特定することが困難であり、結果として高精度の検査を行うことができなかった。【解決手段】 X線によって検査対象を検査するにあたり、X線を基板上の検査対象品に照射して異なる位置に配設した検出器によって撮影した複数のX線画像を取得し、上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行し、当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の良否を判定するための検査位置を決定し、良否判定を行う。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
X線を基板上の検査対象品に照射して異なる位置に配設した検出器によって撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得手段と、 上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行する再構成演算手段と、 当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の良否を判定するための検査位置を決定し、良否判定を行う対象品検査手段とを備えることを特徴とするX線検査装置。
IPC (1件)：
G01N 23/04
FI (1件)：
G01N23/04
Fターム (9件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA13 ,  2G001HA07 ,  2G001HA14 ,  2G001JA06 ,  2G001KA03
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM