特許
J-GLOBAL ID：201003023012159907

基板搬送アーム

発明者：
岡本 英樹

岡本 英樹 について

, 
美濃部 猛

美濃部 猛 について

, 
瀧浦 博文

瀧浦 博文 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-250046
公開番号（公開出願番号）：特開2010-076929
出願日： 2008年09月29日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：
【課題】反っているプリント基板をワークステージ載置する際に、基板とワークステージと基板との間で吸着用の真空がリークするのを防ぎ、ワークステージが基板を吸着保持できるようにすること。【解決手段】搬送アーム10は、吸着パッド1により基板を真空吸着により保持して搬送し、ワークステージ上に載置して真空吸着により保持させる。搬送アーム10の吸着パッド1が設けられる側に、吸着パッド1より短い板ばね4等の弾性部材が設けられる。板ばね4は、吸着パッド1の先端より引っ込ませて設けられる。基板を保持した搬送アーム10がワークステージ上で下降するとき、板ばね4は、基板の反っている部分をワークステージの方向に押し付ける。このため、基板は平面に矯正され、基板周辺部からの吸着用真空のリークがなくなり、基板はワークステージに吸着保持される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板を吸着パッドにより下側に保持して搬送し、該基板を真空吸着して保持するワークステージ上に載置するための基板搬送アームにおいて、 基板搬送アームの吸着パッドが設けられる側には、吸着パッドより短い弾性部材が吸着パッドの先端より引っ込んで設けられている ことを特徴とする基板搬送アーム。
IPC (3件)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/677 ,  G02F 1/13
FI (3件)：
B65G49/06 A ,  H01L21/68 A ,  G02F1/13 101
Fターム (11件)：
2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  5F031CA05 ,  5F031CA20 ,  5F031FA02 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA08
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特許第4052826号公報
  • 特許第4048464号公報
審査官引用 (1件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM