特許

J-GLOBAL ID：201003023018155857

二次イオン質量分析の固形試料保持方法

発明者： 和田 一彦
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-221604
公開番号（公開出願番号）：特開2010-054433
出願日： 2008年08月29日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：

【課題】固形試料を容易に固形試料保持体に固定することができる二次イオン質量分析の固形試料保持方法を提供する。【解決手段】本発明は、脆い固形試料を二次イオン質量分析装置で再現性よく正確に測定するために、固形試料を容易に固形試料保持体に固定することができる二次イオン質量分析の固形試料保持方法を提供するものである。本発明の二次イオン質量分析の固形試料保持方法は、上面に交互に並んだ凸部及び凹部を複数有しかつ可塑性を有する金属塊の複数の前記凸部の上に配置した固形試料に、前記固形試料の上に配置した板を介して上から力を加えることにより、前記金属塊を塑性変形させ、前記固形試料の上面と前記金属塊の上面とを同じ高さにし、かつ前記固形試料を前記金属塊に固定する工程を備え、前記固形試料の底面と接触した前記金属塊及びその下部の前記金属塊が前記凹部に向かって塑性変形することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

上面に交互に並んだ凸部及び凹部を複数有しかつ可塑性を有する金属塊の複数の前記凸部の上に配置した固形試料に、前記固形試料の上に配置した板を介して上から力を加えることにより、前記金属塊を塑性変形させ、前記固形試料の上面と前記金属塊の上面とを同じ高さにし、かつ前記固形試料を前記金属塊に固定する工程を備え、 前記固形試料の底面と接触した前記金属塊及びその下部の前記金属塊が前記凹部に向かって塑性変形することを特徴とする二次イオン質量分析の固形試料保持方法。

IPC (3件)：

G01N 1/06 ,  G01N 1/28 ,  G01N 27/62

FI (3件)：

G01N1/06 E ,  G01N1/28 N ,  G01N27/62 V

Fターム (14件)：

2G041CA01 ,  2G041DA16 ,  2G041EA01 ,  2G041FA02 ,  2G041FA09 ,  2G052AA11 ,  2G052AA15 ,  2G052AA18 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052EC05 ,  2G052EC22 ,  2G052GA24

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭62-83637号公報
  
• 試料保持装置および試料保持方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-345739   出願人：日本電気株式会社