特許
J-GLOBAL ID:201003024603764610

ボール搭載マスク及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 高田 守 ,  高橋 英樹 ,  小澤 次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-016775
公開番号(公開出願番号):特開2010-177347
出願日: 2009年01月28日
公開日(公表日): 2010年08月12日
要約:
【課題】ボール挿入孔のボール搭載側開口周縁にめっきのサイドスプレット現象によるR形状加工が施されたボール案内部を形成することにより、導電性ボールの挿入性及び搭載率を向上させるようにしたボール搭載マスクを得る。【解決手段】搭載される導電性ボール8の直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔4が多数形成されるようにめっきにより製作された第1マスク層13と、ボール挿入孔のボール搭載側開口部周縁にめっきのサイドスプレット現象によるR形状加工が施されたボール挿入孔よりも大径のボール案内部9を形成した第2マスク層15とからなる。【選択図】図5
請求項(抜粋):
搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクであって、 前記搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されるようにめっきにより製作された第1マスク層と、前記ボール挿入孔のボール搭載側開口部周縁にめっきのサイドスプレット現象によるR形状加工が施された前記ボール挿入孔よりも大径のボール案内部を形成した第2マスク層とからなることを特徴とするボール搭載マスク。
IPC (1件):
H01L 21/60
FI (1件):
H01L21/92 604H
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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