レーザ干渉計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-306215
公開番号（公開出願番号）：特開2010-127885
出願日： 2008年12月01日
公開日（公表日）： 2010年06月10日
要約：

【課題】被測定物が移動をする場合であっても適切に被測定物の変位を測定することができるレーザ干渉計の提供。【解決手段】レーザ干渉計1は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源2と、参照鏡4と、測定鏡5と、参照鏡4、及び測定鏡5にて反射される光の干渉光に基づいて、測定鏡5の変位を検出する変位検出装置6とを備える。変位検出装置6は、干渉光における干渉縞の波数を取得する干渉縞取得手段61と、レーザ光の波長を取得する波長取得手段62と、干渉縞の波数と、干渉縞の波数を取得したときのレーザ光の波長とに基づいて、測定鏡5の変位を算出する変位算出手段65とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ光を射出するレーザ光源と、所定の位置に設けられ、前記レーザ光を反射する参照面と、被測定物に取り付けられ、前記レーザ光を反射する測定面と、前記参照面、及び前記測定面にて反射される光の干渉光に基づいて、前記測定面の変位を検出することで前記被測定物の変位を測定するレーザ干渉計であって、前記レーザ光源は、所定の周波数を有する変調信号にて前記レーザ光を変調することで前記レーザ光の中心波長を安定化して射出し、前記干渉光における干渉縞の波数を取得する干渉縞取得手段と、前記レーザ光の波長を取得する波長取得手段と、前記干渉縞の波数と、前記干渉縞の波数を取得したときの前記レーザ光の波長とに基づいて、前記測定面の変位を算出する変位算出手段とを備えることを特徴とするレーザ干渉計。

IPC (3件)：

G01B 9/02 , G01B 11/00 , G01J 9/02

FI (3件)：

G01B9/02 , G01B11/00 G , G01J9/02

Fターム (22件)：

2F064AA01 , 2F064CC08 , 2F064DD06 , 2F064FF02 , 2F064FF08 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG55 , 2F064JJ11 , 2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA20 , 2F065DD11 , 2F065EE00 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065GG25 , 2F065LL12 , 2F065NN06 , 2F065NN08 , 2F065QQ51 , 2F065UU07

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平02-22503号公報
レーザ光発振周波数のオートロック方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-087334 出願人：ネオアーク株式会社, 株式会社エヌエフ回路設計ブロック

前のページに戻る