特許
J-GLOBAL ID：201003025200315560
エアロゾル微粒子計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-137242
公開番号（公開出願番号）：特開2010-281788
出願日： 2009年06月08日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：
【課題】エアロゾルフローの流量Aを直接測定して校正できるようにすることにより、校正の精度を高める。【解決手段】シースガス流路8で可変オリフィス12の上流側に、計測時はシースガス流路8にスプリッタ6で分離された試料ガスを導入し、校正時はシースガス流路8に試料ガス流路2を経由しないガスを導入する流路切替え機構26を備えている。制御装置30は、校正時に第2流量計28により測定される流量がエアロゾルフローキャピラリ4を流れるエアロゾルフローの目的流量となるように可変オリフィス12を調節したときに圧力計24により検出されたエアロゾルフローキャピラリ4による圧力損失を記憶しておく記憶装置32を備えている。計測時は圧力計24により検出されるエアロゾルフローキャピラリ4による圧力損失が記憶装置32に記憶された値になるように可変オリフィス12を調節する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ナノメータサイズの微小粒子を含む大気圧状態のエアロゾルを試料ガスとして吸入する試料ガス流路(2)と、
試料ガスの一部をエアロゾルフローとして流すエアロゾルフローキャピラリ(4)と、
前記試料ガス流路(2)の先端部に設けられ、試料ガスを前記エアロゾルフローキャピラリ(4)に流れるガスとその残部ガスとに分離するスプリッタ(6)と、
前記スプリッタ(6)の下流に配置され、試料ガス中の粒子を除去するフィルタ(10)及びその下流に設けられて流量を調節する可変オリフィス(12)を備えたシースガス流路(8)と、
前記シースガス流路(8)からのガスを飽和蒸気状態のシースフローにして前記エアロゾルフローキャピラリ4から流出するエアロゾルフローと合流させる飽和器(14)と、
前記エアロゾルフローキャピラリ(4)からのエアロゾルフローと飽和器(14)からのシースフローとの合流ガスを冷却してエアロゾルフロー中の微粒子をシースフローの蒸気により成長させる冷却凝縮器(16)と、
前記冷却凝縮器(16)を通過したガス中の粒子数を計数する粒子計数器(18)と、
前記粒子計数器(18)の下流に設けられ所定流量で排気するように駆動が制御される排気ポンプ(22)と、
前記エアロゾルフローキャピラリ(4)による圧力損失を検出する圧力計(24)と、
前記シースガス流路(8)で前記可変オリフィス(12)の上流側に設けられ、計測時は前記シースガス流路(8)に前記残部ガスを導入し、校正時は前記シースガス流路(8)に前記試料ガス流路(2)を経由しないガスを導入するように前記シースガス流路(8)に流れるガスを切り替える流路切替え機構(26)と、
校正時に前記試料ガス流路(2)を流れる試料ガスの流量を測定するための第1流量計(28)と、
校正時に前記第1流量計(28)により測定される流量が前記エアロゾルフローキャピラリ(4)を流れるエアロゾルフローの目的流量となるように調節したときの前記圧力計(24)により検出された前記エアロゾルフローキャピラリ(4)による圧力損失を記憶しておく記憶装置(32)を有する制御装置(30)と、を備え、
計測時に前記記憶装置(32)に記憶されている圧力損失が再現されるようにしたエアロゾル微粒子計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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