感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに、固体撮像素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-245024
公開番号（公開出願番号）：特開2010-078729
出願日： 2008年09月24日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：

【課題】低い露光量(特に200mJ/cm2未満)でパターン形成された際も、解像性に優れ、かつ後工程のポストベークでもパターン矩形性が劣化しない感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】樹脂と、オキシム系光重合開始剤と、紫外線吸収剤と、全固形分中における含有量が30質量%以上である、芳香環を有するモノマーと、を含有し、固体撮像素子の画素形成に用いられる感光性樹脂組成物である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

樹脂と、オキシム系光重合開始剤と、紫外線吸収剤と、全固形分中における含有量が30質量%以上である、芳香環を有するモノマーと、を含有し、固体撮像素子の画素形成に用いられる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G02B 5/20 , G03F 7/004 , G03F 7/027 , G03F 7/40 , G03F 7/031 , H01L 27/14

FI (6件)：

G02B5/20 101 , G03F7/004 506 , G03F7/027 502 , G03F7/40 501 , G03F7/031 , H01L27/14 D

Fターム (31件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB13 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC43 , 2H025CA07 , 2H025CA14 , 2H025CA28 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CC01 , 2H025CC02 , 2H025CC04 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB46 , 2H096AA25 , 2H096BA05 , 2H096EA02 , 2H096GA09 , 2H096HA01 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118BA14 , 4M118GC07 , 4M118GC17

引用特許：

出願人引用 (3件)

固体撮像素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-235693 出願人：凸版印刷株式会社
保護膜用熱硬化性組成物、硬化物、及び液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-134317 出願人：三菱化学株式会社
異種部材一括形成用光硬化性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-098327 出願人：大日本印刷株式会社

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