特許
J-GLOBAL ID：201003027346587220
マイクロ可動素子および光干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
吉田 稔
, 田中 達也
, 仙波 司
, 鈴木 泰光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-031368
公開番号（公開出願番号）：特開2010-184334
出願日： 2009年02月13日
公開日（公表日）： 2010年08月26日
要約：
【課題】駆動時に並進変位動作する可動部について回転変位を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を含んでなる光干渉計を提供する。【解決手段】本発明のマイクロ可動素子X1は、可動部10、固定部20、および連結部31〜34を備える。可動部10は、一対の電極部12,13を有する。固定部20は、電極部12,13の離隔方向に交差する方向における可動部10の並進変位の駆動力を電極部12,13と協働して発生させるための一対の電極部22,23を有する。複数の連結部31〜34のそれぞれは、可動部10に接続し且つ固定部20に接続する。連結部31および可動部10が接続する接続部P1と、連結部33および可動部10が接続する接続部P3との離隔方向における、接続部P1,P3の間以内に、電極部12,13は位置する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
一対の離隔した第1電極部を有する可動部と、
前記第1電極部の離隔方向に交差する方向における前記可動部の並進変位の駆動力を前記一対の第1電極部と協働して発生させるための一対の第2電極部、を有する固定部と、
前記可動部に接続し且つ前記固定部に接続する複数の連結部と、を備え、
前記複数の連結部は、第1連結部および第2連結部を含み、
前記第1連結部および前記可動部が接続する第1接続部と、前記第2連結部および前記可動部が接続する第2接続部とは離隔して、当該第1および第2接続部の離隔方向における当該第1および第2接続部の間以内に前記一対の第1電極部は位置する、マイクロ可動素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (31件)：
2H141MA27
, 2H141MB23
, 2H141MC07
, 2H141MD02
, 2H141MD04
, 2H141MD38
, 2H141ME04
, 2H141ME09
, 2H141ME24
, 2H141ME25
, 2H141MF02
, 2H141MF30
, 2H141MG10
, 2H141MZ03
, 2H141MZ16
, 2H141MZ19
, 2H141MZ26
, 3C081AA01
, 3C081BA07
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081CA02
, 3C081CA14
, 3C081CA15
, 3C081CA28
, 3C081DA04
, 3C081DA24
, 3C081EA07
