特許
J-GLOBAL ID：200903032368170059
可動電極を有する装置、可動ミラー装置、振動型ジャイロスコープ及びこれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-157966
公開番号（公開出願番号）：特開2008-294455
出願日： 2008年06月17日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：
【課題】 簡単な製造プロセスで製造できながらも、基板垂直方向のいずれの向きに物理量が作用したかを検知すること。【解決手段】 可動電極148aは、z軸方向(基板垂直方向)に変位可能である。可動電極148aと固定電極132の基板対向面147a、(131a、131b)は基板120に平行な平坦状である。これらの基板対向面はz軸方向の位置が等しい。両電極148a、132の検出面はz軸方向に伸びている。可動電極148aの検出面149a-1は全体が平坦である。固定電極132の検出面は、基板120と離反する側に位置するとともに可動電極148aの検出面149a-1との距離が長い第1平面部133aと、基板120側に位置するとともに上記距離が短い第2平面部133bで構成されている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板上に浮いており基板垂直方向に変位可能な可動電極と、基板に固定された固定電極を備え、
両電極の基板対向面が基板にほぼ平行な平坦状で、かつ、両電極の基板対向面の基板垂直方向の位置が可動電極の変位前においてはほぼ等しく、
両電極の検出面がほぼ基板垂直方向に伸び、
可動電極を基板垂直方向の一方の向きに変位させたときと他方の向きに変位させたときの、両電極間の対向面積と距離の比の総和(面積距離比の和)の減少率が0以上であって、かつ、これらの減少率が異なることを特徴とする可動電極を有する装置。
IPC (5件)：
H01L 29/84
, G01P 15/125
, G01P 9/04
, G01C 19/56
, B81B 3/00
H01L29/84 Z
, G01P15/125 Z
, G01P9/04
, G01C19/56
, B81B3/00
2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CD03
, 2F105CD07
, 2F105CD13
, 3C081AA18
, 3C081BA07
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081BA74
, 3C081CA03
, 3C081CA14
, 3C081DA04
, 3C081EA02
, 3C081EA08
, 3C081EA41
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112CA33
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112EA06
, 4M112EA18
