特許
J-GLOBAL ID:201003029011116595
アレーン系化合物の製造方法及びアレーン系化合物
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (5件):
渡邉 一平
, 木川 幸治
, 菅野 重慶
, 佐藤 博幸
, 小池 成
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-200930
公開番号(公開出願番号):特開2010-159244
出願日: 2009年08月31日
公開日(公表日): 2010年07月22日
要約:
【課題】EB(電子線)等に有効に感応する化学増幅型のポジ型レジスト膜を成膜可能な感放射線性組成物に含まれる基材成分の原料として有用なアレーン系化合物の製造方法を提供する。【解決手段】下記一般式(1)で表される化合物と、下記一般式(2)で表される化合物と、を縮合反応させる縮合反応工程を有するアレーン系化合物の製造方法である。【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記一般式(1)で表される化合物と、下記一般式(2)で表される化合物と、を縮合反応させる縮合反応工程を有するアレーン系化合物の製造方法。
IPC (3件):
C07C 41/30
, C07C 43/205
, C07C 43/23
FI (3件):
C07C41/30
, C07C43/205 A
, C07C43/23 A
Fターム (9件):
4H006AA01
, 4H006AA02
, 4H006AC25
, 4H006BA66
, 4H006BB12
, 4H006GP03
, 4H006GP12
, 4H039CA19
, 4H039CL25
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)