特許

J-GLOBAL ID：200903028904362864

カリックスアレーン系誘導体及びそれを含有する組成物

発明者： 西久保 忠臣 ,  工藤 宏人
出願人/特許権者： JSR株式会社 ,  学校法人神奈川大学
代理人 (3件)： 渡邉 一平 ,  木川 幸治 ,  樋口 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-192502
公開番号（公開出願番号）：特開2007-008875
出願日： 2005年06月30日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：

【課題】次世代のフォトリソグラフィーに対応したフォトレジストとして使用し得る新規な構造のカリックスアレーン系誘導体及びそれを含有する組成物を提供する。【解決手段】式(2)で示される置換基を有するカリックスアレーン系誘導体及びそれを含有する組成物。(Aは炭素数1〜11の置換又は非置換の2価の炭化水素基;Bは1価の酸解離性基を表し;nは0又は1である。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(1)で示されるカリックスアレーン系誘導体。

IPC (3件)：

C07C 69/712 ,  C07C 69/96 ,  G03F 7/039

FI (3件)：

C07C69/712 ,  C07C69/96 Z ,  G03F7/039 601

Fターム (21件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB28 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AB76 ,  4H006BJ50 ,  4H006BP30 ,  4H006BT12 ,  4H006BT40

引用特許：

出願人引用 (4件)

• カリックスレゾルシンアレーン誘導体および感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-133996   出願人：JSR株式会社, 学校法人神奈川大学
• トナー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-317660   出願人：キヤノン株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-232347   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 特開昭57-017661
  

引用文献：

出願人引用 (1件)

• Polymer Journal, 2003, Vol.35, No.3, 213-229