ミラー装置及びミラー装置の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：平山一幸 , 篠田哲也 , 小川耕太
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-267909
公開番号（公開出願番号）：特開2010-096997
出願日： 2008年10月16日
公開日（公表日）： 2010年04月30日
要約：

【課題】焦点可変で且つ高精度の一様な近似放物面形状を得ることができるようにしたミラー装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】ミラー装置30は、薄板状のミラー部31aと、ミラー部31aを懸架するサスペンション31bを有し、ミラー部31aの周縁の少なくとも一部を包囲し、かつサスペンション31bによりミラー部31aをその表面に垂直な方向へ移動可能に支持するベース部31cと、から成るミラー基板31と、ミラー基板31のベース部31cの表面に配設した支持基板32と、を備え、支持基板32が、ミラー基板31の周縁の内側に対向してミラー部31aの表面に当接する支持部32aと、支持部32aより外側でミラー部31aに対向して形成された固定電極部32bを有している。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

薄板状のミラー部と、該ミラー部を懸架するサスペンションを有し該ミラー部の周縁の少なくとも一部を包囲しかつ上記サスペンションにより上記ミラー部をその表面に垂直な方向へ移動可能に支持するベース部と、から成るミラー基板と、上記ミラー基板のベース部の表面に配設される支持基板と、を備え、上記支持基板が、上記ミラー基板の周縁の内側に対向してミラー部の表面に当接する支持部と、上記支持部より外側で上記ミラー部に対向して形成された固定電極部と、を有しており、上記固定電極部と上記ミラー部との間に電圧を印加することにより、上記ミラー部の支持部より外側の領域を静電引力によって、対応する固定電極側に向かって変位させて、上記ミラー部の支持部より内側の領域を断面放物線状に変形させることを特徴とする、ミラー装置。

IPC (4件)：

G02B 26/06 , B81B 3/00 , B81C 3/00 , G02B 5/10

FI (4件)：

G02B26/06 , B81B3/00 , B81C3/00 , G02B5/10 B

Fターム (29件)：

2H042DA01 , 2H042DA09 , 2H042DA19 , 2H042DA20 , 2H042DD06 , 2H042DD11 , 2H042DE00 , 2H141MA27 , 2H141MB27 , 2H141MC06 , 2H141MZ19 , 2H141MZ26 , 2H141MZ28 , 3C081BA28 , 3C081BA29 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081CA03 , 3C081CA05 , 3C081CA14 , 3C081CA15 , 3C081CA33 , 3C081DA04 , 3C081DA06 , 3C081DA24 , 3C081DA43 , 3C081EA07

引用特許：

出願人引用 (3件)

変形可能ミラー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-131229 出願人：ソニー株式会社
反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-356569 出願人：オリンパス光学工業株式会社
可変焦点光学素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-128004 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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