特許

J-GLOBAL ID：201003032657218672

光学位置測定装置

発明者： ホルツアプフェル・ヴォルフガング
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (3件)： 江崎 光史 ,  鍛冶澤 實 ,  清田 栄章
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-507822
公開番号（公開出願番号）：特表2010-527014
出願日： 2008年05月02日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：

本発明は、走査ユニットとこの走査ユニットに相対して少なくとも1つの測定方向に移動可能なスケールとの相対位置を検出するための光学位置測定装置に関する。このスケールは、組み合わせ式の構成ユニットとして形成されており、この構成ユニットは、少なくとも1つの反射素子と測定目盛とを有する。走査ユニットは分割手段を有し、この分割手段は、光源から発せられた光束を測定方向に少なくとも2つの部分光束に分割し、これらの部分光束が、この分割後、前記スケールの方向に伝播する。

請求項（抜粋）：

走査ユニット(AE)とこの走査ユニットに相対して少なくとも1つの測定方向(Mr)に移動可能なスケール(Mf)との相対位置を検出するための光学位置測定装置において、 -前記スケール(Mf)が、組み合わせ式の構成ユニットとして形成されており、この構成ユニットが、少なくとも1つの反射素子(R1、R2;Pr;R)と測定目盛(Gf)とを有し、 -前記走査ユニット(AE)に、光源(LD)と1つまたは複数の検出素子(PE-1、PE0、PE+1)とが付設されており、 -前記走査ユニットが分割手段(Mm;Mm1、Mm2)を有し、この分割手段が、前記光源(LD)から発せられた光束を測定方向(Mr)に少なくとも2つの部分光束に分割し、これらの部分光束が、この分割後、前記スケール(Mf)の方向に伝播することを特徴とする光学位置測定装置。

IPC (1件)：

G01D 5/38

FI (1件)：

G01D5/38 A

Fターム (8件)：

2F103CA04 ,  2F103DA11 ,  2F103EA01 ,  2F103EA18 ,  2F103EB02 ,  2F103EB16 ,  2F103EC01 ,  2F103EC03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光学式エンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-176848   出願人：松下電器産業株式会社