特許

J-GLOBAL ID：201003033605714236

感放射線性樹脂組成物、それに用いる重合体およびそれに用いる化合物

発明者： 松村 信司 ,  西村 幸生 ,  征矢野 晃雅 ,  芹澤 龍一 ,  大塚 昇 ,  冨岡 寛
出願人/特許権者： JSR株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-191426
公開番号（公開出願番号）：特開2010-265435
出願日： 2009年08月20日
公開日（公表日）： 2010年11月25日
要約：

【課題】LWRが小さく、かつ、パターン形状に優れたレジストパターンを形成可能である感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)特定のスルホンアミド基を側鎖に有する重合体および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物を提供する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A1)下記式(1)で表される繰り返し単位を有する重合体および (B)感放射線性酸発生剤 を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (7件)：

C08L 33/14 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/38 ,  C07C 381/12 ,  C07C 311/09

FI (7件)：

C08L33/14 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/38 ,  C07C381/12 ,  C07C311/09

Fターム (69件)：

2H125AF17P ,  2H125AF34P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF70P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN54P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB46 ,  4H006AB76 ,  4H006TN10 ,  4H006TN60 ,  4J002BG071 ,  4J002EB116 ,  4J002EU026 ,  4J002EV296 ,  4J002EV306 ,  4J002FD146 ,  4J002FD200 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA56R ,  4J100BA56S ,  4J100BA59Q ,  4J100BA59R ,  4J100BA59S ,  4J100BB12R ,  4J100BB12S ,  4J100BB18Q ,  4J100BB18R ,  4J100BB18S ,  4J100BC03P ,  4J100BC03R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 難燃性非水電解液およびそれを用いた二次電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-267274   出願人：三洋化成工業株式会社
• 感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に用いられる化合物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-009840   出願人：富士フイルム株式会社