特許
J-GLOBAL ID：201003034017083650

低コヒーレンス干渉計、低コヒーレンス干渉装置、及び低コヒーレンス干渉測定方法

発明者：
中山 繁

中山 繁 について

, 
瀧川 雄一

瀧川 雄一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-295433
公開番号（公開出願番号）：特開2010-122043
出願日： 2008年11月19日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：
【課題】光路長差のスキャン範囲の幅を縮小して測定の効率化を図るのに適した構成の低コヒーレンス干渉計を提供する。【解決手段】本発明を例示する低コヒーレンス干渉計の一態様は、測定対象となる距離範囲を低コヒーレンス干渉法で測定するための光周波数幅を有し、かつその光周波数方向にかけて強度変調された広帯域変調光を生成する光源部(1、21)と、前記光源部が生成した広帯域変調光を分岐して測定対象物(12)と参照物(15)との双方へ導くと共に、前記測定対象物からの測定光と前記参照物からの参照光とを干渉させて干渉信号を生成する光学系(9、18)とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測定対象となる距離範囲を低コヒーレンス干渉法で測定するための光周波数幅を有し、かつその光周波数方向にかけて強度変調された広帯域変調光を生成する光源部と、 前記光源部が生成した広帯域変調光を分岐して測定対象物と参照物との双方へ導くと共に、前記測定対象物からの測定光と前記参照物からの参照光とを干渉させて干渉信号を生成する光学系と、 を備えたことを特徴とする低コヒーレンス干渉計。
IPC (3件)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/00
FI (3件)：
G01B9/02 ,  G01B11/24 D ,  G01B11/00 G
Fターム (44件)：
2F064AA01 ,  2F064AA09 ,  2F064BB03 ,  2F064EE01 ,  2F064FF02 ,  2F064FF07 ,  2F064FF08 ,  2F064GG12 ,  2F064GG23 ,  2F064GG32 ,  2F064GG38 ,  2F064GG42 ,  2F064GG52 ,  2F064GG55 ,  2F064GG61 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ03 ,  2F064JJ06 ,  2F064JJ15 ,  2F065AA06 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF52 ,  2F065GG06 ,  2F065GG24 ,  2F065GG25 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065LL34 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL62 ,  2F065NN06 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07
引用特許：
出願人引用 (2件)

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