特許

J-GLOBAL ID：200903014245460089

低コヒーレント干渉縞解析方法

発明者： ▲葛▼ 宗濤
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-182130
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028647
出願日： 2002年06月21日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【目的】低コヒーレント干渉縞の強度分布を、包絡関数を用いた強度分布関数で表し、この光強度分布関数の未知数を位相シフトした各シフト段階の光強度に基づいて算出し、この算出結果から包絡線のピーク位置を求めることにより、高速度で低コヒーレント干渉縞の測定解析を行なえるようにする。【解決手段】干渉縞の光強度分布を、包絡関数を用いた光強度関数で表す(S1)。位相シフトを行ない、各シフト段階毎に光強度を計測する(S3)。計測された各シフト段階の光強度に基づき、光強度分布関数の未知数を算出する(S4)。未知数の算出結果から、包絡線のピーク位置を求め(S5)、このピーク位置から、被検体表面の高さを求める。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

干渉計装置において照明光としての低コヒーレント光を分割し、この分割された光の一方を参照光とすると共に、他方を被検体に照射して該被検体の位相情報を担持した物体光とし、該物体光と前記参照光とを互いに干渉させて得られる干渉縞の情報に基づき、前記被検体の前記位相情報を解析する低コヒーレント干渉縞解析方法において、 前記干渉縞の、前記干渉計装置の光軸方向に沿った光強度の分布を、所定の包絡関数を用いて、未知数を含む所定の光強度分布関数で表し、 所定のシフト幅での位相シフトを行なって、各シフト段階における前記光強度をそれぞれ計測し、 この計測された前記各シフト段階の光強度に基づき、前記光強度分布関数の前記未知数を算出し、 この未知数の算出結果に基づき、前記包絡関数の曲線のピーク位置を求め、 この求められたピーク位置に基づき、前記位相情報を求めることを特徴とする低コヒーレント干渉縞解析方法。

IPC (5件)：

G01B9/02 ,  G01J9/04 ,  G01M11/00 ,  G01N21/27 ,  G01N21/45

FI (5件)：

G01B9/02 ,  G01J9/04 ,  G01M11/00 L ,  G01N21/27 A ,  G01N21/45 A

Fターム (29件)：

2F064AA09 ,  2F064CC10 ,  2F064EE01 ,  2F064FF03 ,  2F064FF07 ,  2F064GG22 ,  2F064GG53 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ00 ,  2F064JJ03 ,  2F064JJ06 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB12 ,  2G059BB15 ,  2G059BB16 ,  2G059CC16 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059FF09 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04 ,  2G086EE07 ,  2G086FF01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 表面形状測定方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-241640   出願人：財団法人理工学振興会, 東レエンジニアリング株式会社
• 波形解析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-182735   出願人：株式会社アドバンテスト
• 波長走査レーザ干渉計を用いた周波数解析における誤差補正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-168609   出願人：富士写真光機株式会社
• 光学的表面形状・段差測定器及び測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-163745   出願人：富士写真フイルム株式会社