特許
J-GLOBAL ID：201003035799657834
液体吐出ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-276329
公開番号（公開出願番号）：特開2010-162881
出願日： 2009年12月04日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：
【課題】使用材料種が少なく製造工程の簡略な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】下地基板上に重合開始剤を含まず重合開始剤存在下活性エネルギー線照射により重合可能な化合物を含む樹脂組成物からなる第一層と、第一層上に重合開始剤を含む活性エネルギー線硬化性樹脂組成物からなる第二層とが形成された基板を用意し、吐出口パターンのあるモールドを第一層及び第二層に押し付け、モールド又は下地基板にある吐出口対応部分への活性エネルギー線照射を選択的に遮蔽する機構を介しモールド又は下地基板越しに第二層に活性エネルギー線を照射後、露光後ベークし、活性エネルギー線を照射された第二層を硬化し、第二層の重合反応点が拡散した第一層の一部に硬化部を形成し残部を残し、モールドを除去し、第二層を他の支持基板に貼付、第一層未硬化部を溶解し下地基板を分離する液体吐出ヘッドの製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体を吐出するための吐出口が設けられた吐出口形成部材を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(a)下地基板上に、重合開始剤を含有せず、該重合開始剤の存在下に活性エネルギー線の照射により重合可能な化合物を含有する樹脂組成物からなる第一層と、該第一層上に前記重合開始剤を含有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物からなる第二層とが形成された基板を用意する工程、
(b)少なくとも前記吐出口のパターンが形成されたモールドを、前記第一層及び第二層に押し付ける工程、
(c)前記モールドを前記第一層及び第二層に押し付けた状態で、前記モールド又は下地基板に配置された、前記吐出口に対応する部分に対する活性エネルギー線の照射を選択的に遮蔽する機構を介して、前記モールドあるいは下地基板越しに前記第二層に対して活性エネルギー線を照射した後、露光後ベークを行い、活性エネルギー線の照射された第二層を硬化させると共に、前記第二層に含まれる重合反応の反応点が拡散した第一層の一部に硬化部を形成し、第一層の残りを未硬化部として残す工程、
(d)前記モールドを除去する工程、
(e)前記第二層を他の支持基板に対して貼り付ける工程、
(f)前記第一層の未硬化部を溶解させることで、前記下地基板を分離する工程、
を含む液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2C057AF93
, 2C057AP12
, 2C057AP27
, 2C057AP31
, 2C057AP47
, 2C057AP60
, 2C057AQ04
, 2C057BA04
, 2C057BA13
