特許

J-GLOBAL ID：201003036624525583

振動片および振動子

発明者： 山田 明法 ,  石川 賀津雄 ,  吉田 周平
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-291926
公開番号（公開出願番号）：特開2010-220193
出願日： 2009年12月24日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：

【課題】膜厚変化に伴う周波数温度特性の変化を利用して従来よりも良好な周波数温度特性を得ることのできる振動片を提供する。【解決手段】周波数温度依存性を有する振動体11の表面に、ヤング率または熱膨張係数の温度特性曲線上に変曲点または極値を有する温度特性補正部24a,24bを設け、温度特性補正部24a,24bにおけるヤング率が極値となる温度が、振動体11の動作温度範囲内にあることを特徴とする。ここで、前記極値となる温度は、ネール温度とすることが望ましい。また、温度特性補正部24a,24bは、CrまたはCr合金により構成すると良い。さらに、振動体11に設けた温度特性補正部24a,24bは、それらのヤング率が極値となる温度を互いに異ならせると良い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

周波数温度依存性を有する振動体の表面に、ヤング率と熱膨張係数の少なくとも一方の 温度特性曲線上に変曲点と極値の少なくとも一方を有する温度特性補正部が設けられ、 前記温度特性補正部におけるヤング率と熱膨張係数の少なくとも一方が変曲点となる温 度と極値となる温度の少なくとも一方が、前記振動体の動作温度範囲内にあることを特徴 とする振動片。

IPC (7件)：

H03H 9/02 ,  H03H 9/215 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187

FI (8件)：

H03H9/02 N ,  H03H9/215 ,  H03H9/10 ,  H03H9/19 A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101D

Fターム (18件)：

5J097AA21 ,  5J097BB02 ,  5J097FF05 ,  5J108AA04 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC06 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108GG03 ,  5J108GG08 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108HH04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭59-191916
  
• 圧電振動片および圧電デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-223320   出願人：エプソントヨコム株式会社