特許
J-GLOBAL ID：200903024005834017

圧電振動片および圧電デバイス

発明者：
棚谷 英雄

棚谷 英雄 について

, 
山田 祥之

山田 祥之 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-223320
公開番号（公開出願番号）：特開2008-048275
出願日： 2006年08月18日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：
【課題】小型化を進める上で、温度特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。【解決手段】圧電材料により形成された基部51と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕35,36とを備えており、前記振動腕には、駆動電圧が印加される駆動電極としての励振電極37,38が形成されていて、前記励振電極が下地層であるクロム層と、電極層としての金層を含んでおり、前記クロム層の膜厚が300Å以下であり、前記金層の膜厚が500Å以下とされている圧電振動片である。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
圧電材料により形成された基部と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕とを備えており、 前記振動腕には、駆動電圧が印加される駆動電極としての励振電極が形成されていて、 前記励振電極が下地層であるクロム層と、電極層としての金層を含んでおり、 前記クロム層の膜厚が300Å以下であり、前記金層の膜厚が500Å以下とされている ことを特徴とする圧電振動片。
IPC (8件)：
H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (8件)：
H03H9/19 L ,  H03H9/02 N ,  H03H9/10 ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 Z
Fターム (18件)：
5J108AA04 ,  5J108BB02 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108CC12 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE06 ,  5J108FF02 ,  5J108FF07 ,  5J108FF14 ,  5J108GG03 ,  5J108GG13 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108GG20
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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