特許

J-GLOBAL ID：201003036713801799

時間領域データ内のパルスの通過時間位置を測定するシステムおよび方法

発明者： ホワイト、ジェフリー、エス. ,  フィクター、グレゴリー、ディー. ,  ジムダース、デイビッド、エイ. ,  ウィリアムソン、スティーブン、エル.
出願人/特許権者： ピコメトリクス、エルエルシー
代理人 (8件)： 特許業務法人浅村特許事務所 ,  浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  林 鉐三 ,  清水 邦明 ,  大日方 和幸 ,  畑中 孝之 ,  岩見 晶啓
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-516294
公開番号（公開出願番号）：特表2010-533300
出願日： 2008年07月14日
公開日（公表日）： 2010年10月21日
要約：

時間領域データ内のパルスの通過時間位置を高精度で測定するためのシステムおよび方法である。例示のデータ集合は時間領域テラヘルツ(TD-THz)データ内のパルスの通過時間である。パルスタイミングの精度は決定するサンプル特性測定値(例えば、厚さ)の精度に直接影響する。また、内部較正エタロン構造およびアルゴリズム法は連続的なシステム正確さ/精度チェック法であって、サンプル測定の完全性を高める。エタロン構造はサンプル特性測定値(例えば、絶対厚さ)の精度を高めることができる。種々のハードウエアおよびシステムの具体化を説明する。

請求項（抜粋）：

時間領域テラヘルツ波形の時間データ内のピーク時間値を決定する方法であって、 前記時間領域テラヘルツ波形を受けるステップと、 前記波形のエッジの中点を決定するステップと、 前記中点付近の点の波形の直線当てはめを行うステップと、 時間データ内の前記ピーク時間値である切片値を決定するステップと、 を含むピーク時間値を決定する方法。

IPC (1件)：

G01N 21/35

FI (1件)：

G01N21/35 Z

Fターム (20件)：

2G059AA01 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059CC09 ,  2G059DD20 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF04 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ13 ,  2G059MM01 ,  2G059MM02 ,  2G059MM04 ,  2G059MM10 ,  2G059MM14 ,  2G059PP04 ,  2G059PP06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 検査対象物の組成画像をリアルタイムで提供する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-057176   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

引用文献：

審査官引用 (3件)

• “T-ray imaging”
• “Thin film characterization using terahertz differential time-domain spectroscopy and double modula
• “T-ray tomography”