特許
J-GLOBAL ID:201003036781047792
ポンプシステム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
永井 冬紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-228267
公開番号(公開出願番号):特開2010-059908
出願日: 2008年09月05日
公開日(公表日): 2010年03月18日
要約:
【課題】ターボ分子ポンプ各々の間の駆動状態の時間的な差異及び人的要因による設定ミスを抑制し、複数のターボ分子ポンプに対して迅速かつ正確な設定を行う。【解決手段】複数のターボ分子ポンプ装置は、それぞれターボ分子ポンプTBと、各ターボ分子ポンプの駆動をそれぞれ制御する複数の電源装置CRとを有する。任意の1台の電源装置113は、ターボ分子ポンプ114の駆動制御のための制御情報を設定するとともに、通信ケーブル107を介して他の電源装置123,133に入力値を送信する。他の電源装置122,133は、受信した入力値をターボ分子ポンプTBの駆動制御のための制御情報として設定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数のターボ分子ポンプと、
前記各ターボ分子ポンプをそれぞれ制御する複数の制御装置と、
前記各ターボ分子ポンプの制御に係る制御情報を入力する単一の入力手段と、
前記入力手段より入力された制御情報を前記各制御装置にそれぞれ設定する設定手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (5件):
3H131AA02
, 3H131BA11
, 3H131BA14
, 3H131CA00
, 3H131CA40
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
ターボ分子ポンプ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-134785
出願人:株式会社島津製作所
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