特許
J-GLOBAL ID：200903027606940085

ターボ分子ポンプ装置

発明者：
小崎 純一郎

小崎 純一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 有近 紳志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-134785
公開番号（公開出願番号）：特開2004-339954
出願日： 2003年05月13日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【課題】煩雑な作業を要さずに、一つのターボ分子ポンプの運転状態を監視可能にする。【解決手段】ターボ分子ポンプを駆動する電源装置3の正面パネル31には、通信ポート3a,表示部32,入力部33が設けられている。通信ポート3aは、RS-232C規格準拠のレセプタクルであり、RS-232C規格準拠のプラグで終端された通信ケーブル6を介して、個別監視装置を容易に着脱することが出来る。【効果】正面部の通信ポートに個別監視装置を接続すれば直ちに一つのターボ分子ポンプの運転状態を監視できる。すなわち、電源装置をラックから取り外し、電源装置の背面の通信ポートに接続されているケーブルを外し、個別監視装置に接続する、といった煩雑な作業を要さずに済む。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
ターボ分子ポンプと、前記ターボ分子ポンプに接続されターボ分子ポンプを駆動すると共に正面部に通信ポートを備えた電源装置とを具備し、前記通信ポートに個別監視装置を接続することで前記電源装置を介して前記ターボ分子ポンプの運転状態を監視可能にしたことを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
IPC (2件)：
F04D19/04 ,  F16C32/04
FI (3件)：
F04D19/04 H ,  F04D19/04 A ,  F16C32/04 Z
Fターム (16件)：
3H031DA02 ,  3H031EA11 ,  3H031EA13 ,  3H031EA15 ,  3H031EA16 ,  3H031FA13 ,  3H031FA40 ,  3H031FA41 ,  3J102AA01 ,  3J102BA03 ,  3J102BA17 ,  3J102BA18 ,  3J102CA12 ,  3J102DB05 ,  3J102DB22 ,  3J102GA06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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