特許

J-GLOBAL ID：201003038532171354

薬液のフィルタリング方法

発明者： 河 村 嘉 久 ,  青 山 寿 子 ,  武 藤 大 蔵
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康 ,  出口 智也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-278179
公開番号（公開出願番号）：特開2010-104884
出願日： 2008年10月29日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：

【課題】より適切にフィルタを交換することが可能な薬液のフィルタリング方法を提供する。【解決手段】第1のタンクに貯留された第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより得られた第2の薬液を第2のタンクに貯留する、薬液のフィルタリング方法であって、第1回目から第n回目までに第1のタンクに各々貯留された各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、積算捕獲量と予め規定されたフィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、フィルタを交換する工程と、を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1のタンクに貯留された第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより得られた第2の薬液を第2のタンクに貯留する、薬液のフィルタリング方法であって、 前記第1のタンクに第n(n:整数≧1)回目に貯留される前記第1の薬液を検査し、前記第1の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第1の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第1の測定値を取得する工程と、 前記第1のタンクに第n回目に貯留された前記第1の薬液が前記フィルタを通過した通過液量を測定する工程と、 前記第1のタンクに前記第n回目に貯留された前記第1の薬液をフィルタリングして前記第2のタンクに第n回目に貯留した前記第2の薬液を検査し、前記第2の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第2の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第2の測定値を取得する工程と、 前記第1の測定値から前記第2の測定値を減算して得られた減算値に前記通過液量を乗算することにより、前記第1の薬液に含まれていた不純物のうち前記フィルタにより捕獲された不純物の捕獲量を取得する工程と、 第1回目から第n回目までに前記第1のタンクに各々貯留された各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、 前記積算捕獲量と予め規定された前記フィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、前記フィルタを交換する工程と、を備える ことを特徴とする薬液のフィルタリング方法。

IPC (3件)：

B01D 37/04 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B01D37/04 ,  H01L21/304 648F ,  H01L21/30 564C

Fターム (18件)：

4D066BB01 ,  4D066EA04 ,  4D066EA09 ,  5F046JA01 ,  5F157AA42 ,  5F157AA46 ,  5F157AA73 ,  5F157CC02 ,  5F157CD12 ,  5F157CD15 ,  5F157CD32 ,  5F157CD36 ,  5F157CE29 ,  5F157CF42 ,  5F157CF74 ,  5F157DB03 ,  5F157DC83 ,  5F157DC88

引用特許：

出願人引用 (1件)

• バッファタンク、中間貯留装置、液処理装置及び処理液の供給方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-199427   出願人：東京エレクトロン株式会社