特許
J-GLOBAL ID:201003038963482489
テラヘルツ計測装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
新居 広守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-214554
公開番号(公開出願番号):特開2010-048721
出願日: 2008年08月22日
公開日(公表日): 2010年03月04日
要約:
【課題】テラヘルツ波信号の出力効率を向上させ、また、高速かつ高信頼性を有するテラヘルツ計測装置を提供する。【解決手段】レーザ光ビーム11Aを出射するフェムト秒レーザ発生装置11と、レーザ光ビーム11Aをs波プローブ光ビーム11B及びs波プローブ光ビーム11Bと偏光方向の異なるp波ポンプ光ビーム11Cに2分岐させる分岐部と、p波ポンプ光ビーム11Cが入射することによりテラヘルツ波11Dを出射する非線形結晶19Aと、非線形結晶19Aから出射し被測定物100を透過したテラヘルツ波11Eとs波プローブ光ビーム11Bとの光軸を一致させるシクロオレフィンミラー22と、光軸が一致したテラヘルツ波11Eとs波プローブ光ビーム11Bとの入射により、光学変調された光信号を検出するバランスディテクタ25とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
テラヘルツ波を被測定物に照射することにより当該被測定物の特性を計測するテラヘルツ計測装置であって、
レーザ光ビームを出射する光源と、
前記レーザ光ビームをプローブ光ビームならびに当該プローブ光ビームと偏光方向の異なるポンプ光ビームに2分岐させる分岐部と、
前記ポンプ光ビームが入射することにより第1のテラヘルツ波を出射するテラヘルツ波発生部と、
前記テラヘルツ波発生部から出射し前記被測定物を透過又は反射した前記第1のテラヘルツ波と前記プローブ光ビームとの光軸を一致させる、ポリマーからなる光学結合素子を有する結合部と、
前記結合部により光軸が一致した前記第1のテラヘルツ波と前記プローブ光ビームとの入射により光信号を検出する検出部とを備える
テラヘルツ計測装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (21件):
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059BB08
, 2G059CC12
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059HH01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059JJ24
, 2G059KK01
, 2G059KK04
, 2G059LL03
, 2G059NN01
引用特許:
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