除振装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：西村竜平 , 佐藤明子 , 齊藤真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-172817
公開番号（公開出願番号）：特開2010-014159
出願日： 2008年07月01日
公開日（公表日）： 2010年01月21日
要約：

【課題】(1)地動外乱に対する除振性能・・・床振動に対する振動絶縁(2)直動外乱に対する制振性能・・・ステージ移動の駆動反力による揺れ抑制上記(1)の除振性能を高いレベルに維持したままで、(2)の制振性能に大幅な改善を図ることのできる除振装置を提供する。【解決手段】定常時に気体を流し続ける状態で駆動される気体ばねを用いて、この気体ばね内部から気体の供給側と排気側に通ずる流路の流路抵抗だけに依存して決まる剛性をKd1、前記流路を含むすべての流路を遮断した場合に決まる剛性をKd2として、前記剛性が前記剛性Kd1から前記剛性Kd2に移り変わる周波数領域を動剛性遷移領域としたとき、この動剛性遷移領域、あるいはこの動剛性遷移領域よりも低い周波数領域に、前記気体ばねの前記剛性と負荷質量で決まる共振周波数を設定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

定常時に気体を供給側から排気側に流し続ける状態で駆動される気体ばねを有した除振装置において、この気体ばね内部から前記供給側と前記排気側に通ずる流路の流路抵抗だけに依存して決まる剛性をKd1、前記流路を含むすべての流路を遮断した場合に決まる剛性をKd2として、前記剛性が前記剛性Kd1から前記剛性Kd2に移り変わる周波数領域を動剛性遷移領域としたとき、この動剛性遷移領域、あるいはこの動剛性遷移領域よりも低い周波数領域に、前記気体ばねの前記剛性と負荷質量で決まる共振周波数を設定したことを特徴とする除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 , F16F 15/04 , F16F 9/04

FI (3件)：

F16F15/02 A , F16F15/04 F , F16F9/04

Fターム (13件)：

3J048AA01 , 3J048AB08 , 3J048AB11 , 3J048AD02 , 3J048BE02 , 3J048DA01 , 3J048EA13 , 3J069AA13 , 3J069AA21 , 3J069AA31 , 3J069DD13 , 3J069EE01 , 3J069EE61

引用特許：

出願人引用 (6件)

アクティブ除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-282139 出願人：倉敷化工株式会社
除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-352682 出願人：株式会社昭和サイエンス
防振装置及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-128035 出願人：株式会社ニコン

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