特許

J-GLOBAL ID：200903070510662117

除振装置

発明者： 田中 宏幸 ,  小林 直明
出願人/特許権者： 株式会社昭和サイエンス
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-352682
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155038
出願日： 2005年12月06日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】比較的簡単な構成で外来振動に対する定盤の動作制御の応答性を改善し良好な除振性能を得ることができる除振装置を提供する。【解決手段】本発明の除振装置1が備える制御装置36は、定盤2上でのステージ45の水平方向の位置を検出するための位置センサ46が出力する位置信号の比例値とこの位置信号の擬似微分値に所定のゲインを掛けた値とを加算して得られるフィードフォワード制御信号と、定盤2の振動及び位置を各々検出する加速度センサ49及び位置センサ25〜28の出力を基に生成したフィードバック制御信号と、を加算してサーボ弁48に出力し、定盤2の傾きをなくすように空気ばね式アクチュエータ11〜14の吸排気動作を個別にフィードフォワード制御する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

水平方向に移動し得る除振対象物が搭載される定盤と、 前記除振対象物が搭載された前記定盤の振動を検出する複数の加速度センサと、 前記定盤の位置を検出する複数の位置センサと、 前記加速度センサ及び前記位置センサの出力をフィードバック制御し、振動と位置の偏差を制御するために設けられた、前記定盤の複数個所をそれぞれ支持する複数の空気ばね式アクチュエータと、 前記空気ばね式アクチュエータが備える空気ばねの給排気を行うサーボ弁と、 前記定盤上での前記除振対象物の水平方向の位置を検出し、その検出された位置に対応する位置信号を出力する位置信号出力部と、 前記位置信号出力部より出力される前記位置信号の比例値とこの位置信号の擬似微分値に所定のゲインを掛けた値とを加算した合計値から得られるフィードフォワード制御信号と、前記加速度センサ及び前記位置センサの出力を基に生成したフィードバック制御信号と、を加算して前記サーボ弁に出力し、前記定盤の傾きをなくすように前記複数の空気ばね式アクチュエータの吸排気動作を個別にフィードフォワード制御する制御部と、 を具備することを特徴とすることを特徴とする除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  F16F 15/04 ,  G05D 19/02

FI (3件)：

F16F15/02 A ,  F16F15/04 G ,  G05D19/02 D

Fターム (7件)：

3J048AA01 ,  3J048AB08 ,  3J048AB11 ,  3J048AD02 ,  3J048BE02 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3224489号公報
  

審査官引用 (2件)

• ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-147187   出願人：キヤノン株式会社
• 除振装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-074590   出願人：株式会社ニコン