特許
J-GLOBAL ID：201003039118853865
被加工物の保持ユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-119674
公開番号（公開出願番号）：特開2010-264575
出願日： 2009年05月18日
公開日（公表日）： 2010年11月25日
要約：
【課題】 被加工物のハンドリングを容易にするとともに繰り返し使用可能な被加工物の保持ユニットを提供することである。【解決手段】 被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルに吸引保持された該被加工物に切削溝を形成する切削ブレードを有する切削手段とを備えた切削装置において使用される被加工物の保持ユニットであって、該被加工物が載置される載置領域と、該被加工物の位置ずれを防止する位置ずれ防止手段とを有するサブストレートと、該サブストレートに貼着された粘着シートと、該粘着シートの外周縁に貼着された環状フレームとを具備し、該サブストレートの前記載置領域及び該粘着シートには該サブストレートと該粘着シートとを貫通する複数の貫通孔が形成されており、該被加工物が該サブストレート上に載置され、該保持テーブル上で吸引保持されることで、該被加工物と該被加工物の保持ユニットとが一体化して該保持テーブルにより保持されることを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルに吸引保持された該被加工物に切削溝を形成する切削ブレードを有する切削手段とを備えた切削装置において使用される被加工物の保持ユニットであって、
該被加工物が載置される載置領域と、該被加工物の位置ずれを防止する位置ずれ防止手段とを有するサブストレートと、
該サブストレートに貼着された粘着シートと、
該粘着シートの外周縁に貼着された環状フレームとを具備し、
該サブストレートの前記載置領域及び該粘着シートには該サブストレートと該粘着シートとを貫通する複数の貫通孔が形成されており、
該被加工物が該サブストレート上に載置され、該保持テーブル上で吸引保持されることで、該被加工物と該被加工物の保持ユニットとが一体化して該保持テーブルにより保持されることを特徴とする被加工物の保持ユニット。
IPC (3件)：
B24B 41/06
, B24B 53/00
, H01L 21/301
B24B41/06 Z
, B24B53/00 K
, H01L21/78 F
3C034AA13
, 3C034AA19
, 3C034BB73
, 3C034DD20
, 3C047AA16
, 3C047AA32
