特許
J-GLOBAL ID:201003043647945764
駆動装置および撮像装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-239356
公開番号(公開出願番号):特開2010-074502
出願日: 2008年09月18日
公開日(公表日): 2010年04月02日
要約:
【課題】ウエハレベルで作製されるレンズ層を駆動させることが可能な技術を提供する。【解決手段】駆動装置は、ウエハレベルで作製され、固定部に対して駆動されるレンズ層16と、固定部に対して変位する第1変位部を有する第1アクチュエータ層15と、固定部に対して変位する第2変位部を有する第2アクチュエータ層17とを備え、被駆動体は、第1変位部と第2変位部とで挟持される。【選択図】図3
請求項(抜粋):
ウエハレベルで作製され、固定部に対して駆動される被駆動体と、
前記固定部に対して変位する第1変位部を有する第1駆動層と、
前記固定部に対して変位する第2変位部を有する第2駆動層と、
を備え、
前記被駆動体は、前記第1変位部と前記第2変位部とで挟持される駆動装置。
IPC (4件):
H04N 5/225
, H01L 27/14
, G02B 7/04
, H04N 5/238
FI (4件):
H04N5/225 D
, H01L27/14 D
, G02B7/04 E
, H04N5/238 Z
Fターム (23件):
2H044BE02
, 2H044BE04
, 2H044BE06
, 2H044BE10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118GC11
, 4M118GD03
, 4M118HA02
, 4M118HA11
, 4M118HA20
, 4M118HA23
, 4M118HA24
, 4M118HA25
, 4M118HA35
, 5C122DA09
, 5C122EA55
, 5C122EA57
, 5C122FB03
, 5C122GE04
, 5C122GE05
, 5C122HA82
引用特許:
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