感光性組成物及びパターン膜の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：宮▲崎▼主税 , 目次誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-199662
公開番号（公開出願番号）：特開2010-039051
出願日： 2008年08月01日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：

【課題】露光及び現像により感光性組成物の硬化物からなるパターン膜を基板上に形成する際の現像性に優れており、さらに形成されたパターン膜の電気絶縁性を高めることができる感光性組成物、並びに該感光性組成物を用いたパターン膜の製造方法を提供する。【解決手段】カルボキシル基を有するシロキサンポリマーと、環状エーテル基を有するシロキサンポリマーとを含むシロキサンポリマー(A)と、光酸発生剤、光ラジカル発生剤及びキノンジアジド化合物の内の少なくとも1種の物質(B)とを含む感光性組成物、並びに該感光性組成物からなる感光性組成物層1を基板2上に形成した後、露光することにより、露光部1aの感光性組成物層1を硬化させて現像液に不溶にし、次に現像することにより、感光性組成物の硬化物からなるパターン膜1Aを形成するパターン膜1Aの製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

カルボキシル基を有するシロキサンポリマーと、環状エーテル基を有するシロキサンポリマーとを含むシロキサンポリマー(A)と、光酸発生剤、光ラジカル発生剤及びキノンジアジド化合物の内の少なくとも1種の物質(B)とを含むことを特徴とする、感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/075 , G03F 7/023 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , C08G 59/42

FI (6件)：

G03F7/075 521 , G03F7/075 511 , G03F7/023 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R , C08G59/42

Fターム (28件)：

2H025AA04 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BC78 , 2H025BE01 , 2H025CA02 , 2H025CA35 , 2H025CA48 , 2H025CB33 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096BA05 , 2H096BA10 , 2H096EA02 , 2H096GA09 , 2H096HA01 , 4J036AK17 , 4J036DB17 , 4J036FB16 , 4J036GA01 , 4J036GA25 , 4J036HA02 , 4J036JA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-296954 出願人：東レ株式会社

前のページに戻る