電子部品検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：恩田博宣 , 恩田誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-260161
公開番号（公開出願番号）：特開2010-091348
出願日： 2008年10月06日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：

【課題】各種の電子部品に適合した位置決め動作を迅速に行うことのできる検査用ヘッドを有する電子部品検査装置を提供する。【解決手段】検査用ヘッドの垂直移動部32には、把持部34を垂直移動部32に対して自由に水平移動させることができるメカニカルアライメント用の倣い機構44と、垂直移動部32に対する水平移動を駆動制御するビジュアルアライメント用の補正機構45とが設けられている。また垂直移動部32には、クラッチ部60が設けられている。クラッチ部60は、把持部34を補正機構45に結合させて補正機構45による補正機能を能動とするとともに倣い機構44の倣い機能を非能動とする結合状態と、把持部34を補正機構45から分離させて補正機構45による補正機能を非能動とするとともに倣い機構44の倣い機能を能動とする分離状態とを選択的に切り替える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

電子部品の電気的特性の検査を行う検査用ソケットに電子部品を配置すべく同電子部品を把持、搬送する検査用ヘッドを有する電子部品検査装置であって、前記検査用ヘッドに設けられ、同検査用ヘッドに対して水平方向に相対移動可能に前記電子部品を把持する把持部と、前記検査用ヘッドに設けられ、前記把持部をアクチュエータを通じて水平方向に相対移動させることにより前記電子部品の当該検査用ヘッドに対する水平方向の位置を前記検査用ソケットに対向する位置に補正可能な補正機構と、前記検査用ヘッドに設けられ、前記把持部が前記検査用ソケット側に設けられた位置決めガイドに案内されつつ下降されることにより同把持部の位置を前記検査用ヘッドに対して水平方向にメカニカルに相対移動させることの可能な倣い機構と、前記把持部を前記補正機構に結合させて該補正機構による補正機能を能動とするとともに前記倣い機構の倣い機能を非能動とする結合状態と、前記把持部を前記補正機構から分離させて該補正機構による補正機能を非能動とするとともに前記倣い機構の倣い機能を能動とする分離状態とを選択的に切り替えるクラッチ機構とを備えることを特徴とする電子部品検査装置。

IPC (1件)：

G01R 31/26

FI (1件)：

G01R31/26 Z

Fターム (7件)：

2G003AF02 , 2G003AG11 , 2G003AG16 , 2G003AH01 , 2G003AH02 , 2G003AH04 , 2G003AH06

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第4008886号公報
電子部品試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-336030 出願人：株式会社アドバンテスト

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