特許
J-GLOBAL ID:201003047851287208
低コヒーレンス干渉法(LCI)のための装置、システムおよび方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人川口國際特許事務所
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-525063
公開番号(公開出願番号):特表2010-539491
出願日: 2008年09月15日
公開日(公表日): 2010年12月16日
要約:
本明細書に記載される実施形態は、対象サンプルに関する構造的情報および深さ情報の取得を可能にする低コヒーレンス干渉法(LCI)技術を伴う。一実施形態において、「掃引源」(SS)光源は、サンプルに関する構造的情報および深さ情報を取得するために、LCIにおいて用いられる。掃引源光源は、参照信号と、サンプルに向けられる信号を生成するために用いられることができる。サンプルから散乱される光は、結果として戻され、参照信号と混合されて、干渉を実現し、したがって、サンプルに関する構造的情報を提供する。サンプルに関する深さ情報は、フーリエ領域概念のほか、時間領域技術を用いて取得されることができる。掃引源光源を利用する複数のLCI実施形態が、本明細書に開示される。本明細書に開示される別の実施形態において、a/LCIシステムおよび方法は、時間領域システムに基づいて提供され、広帯域の光源を利用する。
請求項(抜粋):
サンプル内の散乱体のサイズ特性および深さ特性を決定するために、サンプルの深さ分解スペクトルを取得する方法であって、
掃引源光源からの波長の範囲にわたってスプリッタの上に光を生成し、スプリッタが、光を分割して参照ビームおよびサンプル入力ビームを生成するステップと、
サンプル入力ビームを一定の角度でサンプルに向けるステップと、
複数の散乱角で波長の範囲にわたってサンプルから散乱するサンプル入力ビームの結果としてサンプルからスペクトルの角度分解される散乱ビームを受信するステップと、
参照ビームをスペクトルの角度分解される散乱ビームと混合して、スペクトルの角度分解される散乱ビームに関する深さ分解情報を有するスペクトルの角度分解される相互相関信号を生成するステップと、
複数の散乱角のうちの1つ以上の散乱角で、スペクトルの角度分解される相互相関信号を検出するステップと、
複数の散乱角のうちの1つ以上の散乱角で、検出されたスペクトルの角度分解される相互相関信号を処理し、複数の散乱角のうちの1つ以上の散乱角で、サンプルに関する深さ分解情報を有するスペクトルの角度分解される相互相関プロファイルを生じるステップとを含む、方法。
IPC (4件):
G01B 9/02
, G01B 11/02
, G01N 21/17
, G01N 21/45
FI (4件):
G01B9/02
, G01B11/02 G
, G01N21/17 625
, G01N21/45 A
Fターム (50件):
2F064AA01
, 2F064FF01
, 2F064FF03
, 2F064FF08
, 2F064GG02
, 2F064GG12
, 2F064GG15
, 2F064GG22
, 2F064GG32
, 2F064GG33
, 2F064GG42
, 2F064GG44
, 2F064GG52
, 2F064GG70
, 2F064HH02
, 2F064HH03
, 2F064HH07
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F065AA25
, 2F065BB26
, 2F065FF41
, 2F065FF52
, 2F065GG01
, 2F065GG04
, 2F065GG25
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL02
, 2F065LL03
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL16
, 2F065LL22
, 2F065LL32
, 2F065LL33
, 2F065LL46
, 2F065LL57
, 2F065LL67
, 2F065QQ16
, 2F065QQ44
, 2G059BB14
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059KK01
引用特許:
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